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EUV/OPT 光罩护膜贴合设备 (KAM-201)
设备特色
．可同时对应EUV与OPT两种光罩护膜贴合需求
．高洁净型6轴机器手臂全自动移载Reticle及Pellicle，配置自动换爪系统
．影像对位补偿与贴合站主动式平行度调整机制，确保贴合精度
．贴合精度自动检验功能
．特殊光源AOI检查Pellicle外观瑕疵
．对应AMHS(SEMI E87，E84)自动取放并自动开盒
性能规格
．贴合后光学变形量<2nm
．贴合精度：±0.1mm
．贴合压力：0.035～0.4 kN
．超洁净环境控制能力：Particle >100nm，0 EA
EUV/OPT 光罩移载设备 (KAX-311)
设备特色
．依制程指定，执行光罩旋转、翻面与换盒等作业
．可对应各种光罩盒(RSP150/200/Dual)
．光罩盒充填氮气，确保盒内保持低湿、低氧与高洁净度环境
．对应AMHS(SEMI E87, E84)自动取放
．具备Pellicle方向正确性判断
．自动识别EUV与OPT光罩方向(0/90/180/270, flip/non flip)
性能规格
．超洁净环境控制能力：Particle >100nm，0 EA
．光罩换盒移载速度：<3 min
1年
否
无
1次免费培训
可协商
保内免费维修
3个工作日
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