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光罩自動化

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品牌

KAINOVA

型号

Kainova Tech - 光罩自動化

产地

港澳台台湾

应用领域

暂无

EUV/OPT 光罩护膜贴合设备 (KAM-201)

 

设备特色

.可同时对应EUV与OPT两种光罩护膜贴合需求

.高洁净型6轴机器手臂全自动移载Reticle及Pellicle,配置自动换爪系统

.影像对位补偿与贴合站主动式平行度调整机制,确保贴合精度

.贴合精度自动检验功能

.特殊光源AOI检查Pellicle外观瑕疵

.对应AMHS(SEMI E87,E84)自动取放并自动开盒

 

性能规格

.贴合后光学变形量<2nm

.贴合精度:±0.1mm

.贴合压力:0.035~0.4 kN

.超洁净环境控制能力:Particle >100nm,0 EA

ktech_01.jpg


EUV/OPT 光罩移载设备 (KAX-311)

设备特色

.依制程指定,执行光罩旋转、翻面与换盒等作业

.可对应各种光罩盒(RSP150/200/Dual)

.光罩盒充填氮气,确保盒内保持低湿、低氧与高洁净度环境

.对应AMHS(SEMI E87, E84)自动取放

.具备Pellicle方向正确性判断

.自动识别EUV与OPT光罩方向(0/90/180/270, flip/non flip)

 

性能规格

.超洁净环境控制能力:Particle >100nm,0 EA

.光罩换盒移载速度:<3 min

ktech_02.jpg


售后服务

1年

1次免费培训

可协商

保内免费维修

3个工作日

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