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高速长行程位移台基于音圈电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动，内置光栅位移传感器，结构紧凑，通过自主研发的高性能纳米伺服系统获得优异的闭环控制效果，具有纳米级运动分辨率和运动精度，同时兼具高速、高动态位移定位和扫描功能。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点：
音圈电机直驱式精密设计
嵌入式纳米位移传感器系统
超高指向精度、高动态、低噪声
无摩擦、零间隙、免装配
多运动模式：定位/扫描
超长行程
应用领域：
扫描电镜（SEM）样品操纵
主动光学
超分辨成像样品移动
大范围电子束直写（EBL）
微纳装备及制造
集成电路制造与检测
高真空样品精度对准及调姿
纳米聚焦与扫描
显微及纳米CT
规格参数：
型号 | NP-VCM-X-100A |
主动轴 | X |
传感器类型 | 光栅传感器 |
驱动类型 | 音圈电机 |
行程( mm) | 100 |
最大负载( Kg) | 1 |
分辨率（nm） | 1.22 |
重复定位精度（nm） | 20 |
尺寸（mm） | 160x220x82.5 |
工作温度（℃） | 10-50 |
材料 | 铝合金/钛合金 |
推荐控制器/驱动器 | NPC-032 |
纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台
60天
1年
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