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星型全自动涂胶显影机

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品牌

芯源

型号

KS-S150

产地

中国大陆辽宁

应用领域

暂无

1.产品概述:

 KS-S150星型全自动涂胶显影机用于LED-PSS工艺的涂胶显影制程及化合物半导体的涂胶显影等制程。可兼容蓝宝石、砷化镓和碳化硅等材质的晶圆,产品涉及多个应用域,涂胶机产能大于190片/小时。设备通过了CSA认证。

2.应用领域

传感器芯片制造

光通信芯片制造

功率芯片制造

LED芯片制造

图形化衬底制造

化合物半导体域

3.产品优势

1.占地小、稳定性高、操作与维护方便

2.产能高,涂胶机产能大于190片/小时

3.光刻胶用量小,4寸用量0.6ml

4.优异的流场设计,涂胶均匀性好


售后服务

60天

1年

安装调试现场免费培训

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