型号: | TS150-HP & TS200-HP |
产地: | 台湾 |
品牌: | MPI |
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MPI TS150-HP和TS200-HP探针系统提供了完整的150mm和200mm晶圆上解决方案,可在较宽的温度范围内实现功率半导体的低接触电阻测量。
空气轴承
MPI独特的气垫载物台设计,具有MPI独特简单的单手快速移动控制,为快速的XY导航和晶圆装载提供了很强的操作便利性,同时又具有额外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯,提供更精准的定位能力。
卡盘系统
MPI提供高达10KV同轴、600A的卡盘选件,电磁屏蔽和工作台电弧屏蔽ArcShieldS设计为提高电压量测提供安全防护。
高电压/大电流/超大功率探头
MPI高功率探测解决方案包括专用的高压、大电流和超大功率探头。MPI的高压探头能高压测试期间进行低泄漏电流测量,测试高达3kV的三轴或5 kV和10kV的同轴设置。HCP使用MPI专有的多触点尖端来降低接触电阻,以进行高达600A的超高电流测量。UHP探头兼具这两种功能,并且无需为高压和高电流应用更换探头。
屏蔽系统
标准的手动高功率探头系统配置有暗箱或红外激光光幕,可以提供用于安全和EMI屏蔽功能的互锁,且能够确保低噪声、准确和安全的测量。
仪器集成
TS150-HP / TS200-HP可以配置各种仪器连接套件,其中包括必要的高压/大电流探头和电缆附件,以便连接至测试仪器,例如Keysight B1505(3kV或10kV)或Keithley 2600-PCT-XB,包括集成的8020大功率接口面板。
1、单机多应用设计
2、通用于高功率器件量测和晶圆级测试应用,如组件特性描述和建模,晶圆级可靠性(WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS)工效学与安全设计
3、方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计
4、坚固且可乘载多达 10 支高电压 HV 或 4 支大电流HC 微定位器的工作台
5、电磁屏蔽箱和工作台电弧屏蔽 ArcShieldTM设计,为高电压量测提供安全防护
6、支持较宽的温度范围:20℃至300℃
MPI大功率器件表征系统是专门为晶圆上大功率器件测试而设计的。
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