滨松HAMAMATSU其它无损设备EMMI微光显微镜 PHEMOS-X

报价：¥10万

型号：

EMMI微光显微镜PHEMOS-X

产地：

日本

品牌：

滨松

评分：

产品详情

简介

PHEMOSe-X是一款高分辨率发射显微镜，通过检测由半导体器件缺陷引起的弱光和热辐射来定位半导体设备中的故障位置。该设备可与通用探针台结合使用，支持多种分析任务，并且可以选配激光扫描系统以获取高分辨率图像。它适用于从探针插座板到大尺寸300毫米晶圆探针的各种任务，支持多种类型的探测器进行失效分析和缺陷定位。

产品概要：

The PHEMOSe-X is a high-resolution emission microscope that pinpoints failure locations in semiconductor devices by detecting the weak light emissions and heat emissions caused by semiconductor device defects.

基本信息：

Since the PHEMOSe-X is usable in combination with a general-purpose prober,you can do various analysis tasks by using the sample setups you are already familiar with. Installing an optional laser scan system allows acquiring high-resolution pattern images. Different types of detectors are available for various analysis techniques such as emission analysis, thermal analysis, and IR-OBIRCH analysis. The PHEMOS-X supports a wide variety of tasks and applications ranging from prober socket boards to a large-size 300 mm wafer prober.

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技术优势：

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应用方向：

主要应用于失效分析、缺陷定位

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售后服务

产品货期： 180天
培训服务：安装调试现场免费培训