双一流建设

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  • 对接国家“双一流”建设 做强“双一流”地方版
    p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 教育部等三部委发布国家“双一流”建设名单已有一年。“双一流”建设方案,使得名单内的高校获得发展助力,而更多名单外的高校又将何去何从,能在“双一流”建设中获得发展吗?记者日前从上海市教委获悉,对接国家“双一流”建设,上海正启动高水平地方高校建设,做强“双一流”地方版,激发地方高校改革发展内生动力,从而提升高等教育整体水平。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " “双一流”建设没有“主演”与“看客”之分,每所高校都是参与者、践行者,都能实现“各美其美”的理想——在“双一流”建设中,沪上各大高校都展现出生机勃勃、活力奔腾的全新气象。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 部属高校与市属高校联动发展 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 今年,上海市政府发布《关于本市统筹推进一流大学和一流学科建设实施意见》(简称《意见》)明确提出,到2020年,实现上海高校办学实力和学科水平进步明显,两所左右大学和20个左右学科进入世界一流行列,若干学科进入世界一流学科前列,率先实现高等教育现代化。《意见》明确,上海将加大“双一流”建设经费保障力度,持续支持部市共建驻沪高校、高校高峰高原学科建设计划、高水平地方高校建设计划等。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 在业内人士看来,值得关注的是高水平地方高校建设计划。上海地方高校在发展水平上与在沪部属高校差距较大,发挥“双一流”建设高校的辐射作用,带动地方高校发展,上海推出“双一流”建设地方版可谓是一大创举,释放出“支持不同高校在各自领域和类型中争创一流”的积极信号。市教委主任陆靖介绍,上海已启动高水平地方高校建设试点,以“一校一策”方式给予重点支持,通过重点建设特色优势学科引领学校走向高水平。目前,已有八所地方高校纳入试点范围。同时,还将启动高水平应用型高校试点建设,重点支持若干所应用型地方高校加快培养高水平应用型人才、开展技术创新和发明创造。也就是说,上海通过设立两个地方高水平大学建设序列,分类支持研究型和应用型地方高校争创一流。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 坚持分类管理、分类评价,引导高校各安其位、各展所长 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 上海理工大学是最新一批跻身地方高水平大学建设试点的院校之一。以光学工程学科为例,上海理工大学重点聚焦太赫兹技术研究与应用领域,早在2015年就入选上海高校“高峰高原学科建设计划”。第三方机构测评显示,在太赫兹技术研发领域,上海理工已达到世界领先水平。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 促进学科发展是“双一流”建设的“龙头”,上海从2014年开始实施“高峰高原学科建设计划”。目前,本市共有30所高校的121个学科点被纳入建设范围。经过三年一轮持续投入,上海高校学科建设成效逐渐显现。入选国家“双一流”建设名单的上海高校均属于“高峰高原学科建设计划”高校,在建的52个高峰学科中,有38个在全国第四轮学科评估中评为A类学科,占比73.1%;23个I类高峰学科全部为A类学科。同时,26个“A+”学科中,有20个为在建高峰高原学科,占80%以上。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 从近年上海高等教育的布局调整看,对高校实行分类管理和分类评价,是一以贯之的思路。目前,上海把高校分为学术研究型、应用研究型、应用技术型、应用技能型,坚持对不同类别高校实施不同标准,由此形成“分类规划、分类投入、分类评价”的高等教育治理新格局。据悉,今年已出台高校分类管理指导意见,目前已完成首次分类评价。知情人士介绍,做实分类评价“指挥棒”,将有力引导高校各安其位、各展所长、办出特色、创出一流。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 服务国家战略,扎根中国大地办大学 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 在推进“双一流”建设过程中,上海高校积极参与全球科创中心建设。目前,上海交通大学、同济大学、上海科技大学等高校牵头承建了海底长期科学观测网、转化医学、活细胞功能成像、硬X射线自由电子激光装置等一批国家重大科技基础设施。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " “只有培养出一流人才的高校,才能够成为世界一流大学。”上海市教卫工作党委书记虞丽娟说,扎根中国大地办大学是“双一流”建设的鲜明底色,落实立德树人是所有高校的立身之本。坚持把提高本科教育教学质量作为“生命线”,从2014年起,上海以前所未有的力度启动实施市属高校本科教学激励计划,要求高校所有教授必须为本科生授课,而每位教师都必须安排为学生坐班答疑时间,刚留校的青年教师要先担任2-3年助教后才能独立开课。跟踪调研显示,绝大多数学生认为,“激励计划对个人学业起到了推动作用,个性化学习需求得到了更好的满足。” /p
  • “双一流”建设,各省投了多少钱?
    国务院印发的《统筹推进世界一流大学和一流学科建设总体方案》提出了“进入世界一流行列”和“进入一流前列”的明确要求,统筹推进一流大学和一流学科建设将分三步走:  第一步到2020年,若干所大学和一批学科进入世界一流行列,若干学科进入世界一流学科前列   第二步到2030年,更多的大学和学科进入世界一流行列,若干所大学进入世界一流前列,一批学科进入世界一流学科前列,高等教育整体实力显著提升   第三步到本世纪中叶,一流大学和一流学科的数量和实力进入世界前列,基本建成高等教育强国。  一、各省“双一流”建设目标和经费投入情况  自国家启动“双一流”建设工程后,各省的高水平大学和一流学科建设如火如荼,目标远大,投入巨大,下面就为大家简要介绍一下各省的大手笔。  山东省:计划投入50亿,建设1-2所世界一流大学,6所高校进入全国百强,50个学科进入ESI全球前1%,2030年10个学科进入ESI全球前1‰。  广东省:计划投入50亿,建设2所世界一流大学,17所国内高水平(理工)大学,此外还要建设110个重点学科。  四川省:计划建设15所国内高水平大学,30个世界一流学科,100个国内一流学科以及100个去与一流学科。  北京市:预计投入100亿,推进高校高精尖创新中心建设计划,目前已经公布了两批19个高校高精尖创新中心。  上海市:投入36亿建设高峰高原学科,计划建设20个世界一流学科,180个学科进入全国前20%,建设过程中执行严格的监管和动态评估机制。  江苏省:15所以上高校进入全国百强,10所进入前50,100个左右学科进入ESI全球前1%,国家一流学科数,不低于全国总数的10% 2030年建成两所世界一流大学。进入全国百强的省属高校每年新增1亿元。  安徽省:建设1所世界一流大学,若干学科进入世界一流和国内一流行列,另外安排70亿用于省属高校,实施高等教育振兴计划。  甘肃省:建设1所世界一流大学,5所国内高水平大学 2-3个世界一流学科,50个国内一流学科,15个学科进入ESI全球前1%,2-3个学科进入ESI全球前1‰。  陕西省:建设1-3所世界一流大学,5-7所国内高水平大学 50个学科进入国内一流行列。  山西省:建设1-2所国内高水平大学,2-3所区域一流大学。  内蒙古自治区:2020年5个学科进入国内一流 2030年建成2-3所国内高水平大学 2050年再增加2-3所国内高水平大学,建成1所世界一流大学。  湖南省:2020年40个学科进入ESI全球前1%,45个左右的学科进入全国前10% 5所大学进入国内一流大学或特色大学行列,2050年4所大学进入世界一流。  浙江省:建设2所世界一流大学,10所高校进入全国前100 50个学科进入ESI全球前1%,40个学科进入全国前10%,100个左右学科进入全国前30%,若干学科进入全国前3。  河南省:10年投入31亿,5个左右学科进入世界一流学科行列,10个学科进入ESI前1%。  贵州省:5年投入5个亿推进区域内大学和学科“双一流”建设。  河北省:5年25个亿,建设3个国内高水平大学以及一批国内一流学科,个别学科进入国际一流行列。  湖北省:每年投入10-20亿,2020年力争10所以上大学进入全国百强,至少5所大学列入国家层面开展的世界一流大学建设。2030年至少2所大学进入世界一流大学行列,至少10所大学进入国内一流大学行列,力争更多高校进入全国百强。2020年6个以上的学科领域进入ESI全球前1‰,20个左右进入前200位,70个以上学科进入前1%,在全国学科评估中,排名第一的学科数占全国总数的10%左右,60个左右学科进入前5名,120个左右学科进入前30%。到2030年,湖北高校更多学科进入世界一流、国内一流行列。到本世纪中叶,湖北世界一流大学和学科、国内一流大学和学科的数量都位居全国前列。  重庆市:力争2-3所高校跻身国内一流、行业一流大学行列,建成一批在国内外有一定知名度和影响力的一流学科。  吉林省:投入15亿重点支持吉林大学建设世界一流大学。  江西省:建设1所国内高水平大学,10个学科进入国内一流,个别学科进入世界一流学科行列。  宁夏回族自治区:投入2亿元重点建设宁夏大学和6个国内一流学科、10个西部一流学科。  二、问题所在  1、上述21省到2020年将建成世界一流大学10所左右,2030年将建成16所左右,2050年则会建成世界一流大学21所左右。这还不包括教育资源最为丰富的京沪两市。  2、各省纷纷将建设国内高水平大学作为重要内容,但国内高水平大学的标准是什么?是全国前100名,抑或是其他?如果是以全国前100名作为标准,前述21个省份提出的国内高水平大学建设数量已经在110所以上,这还不包括暂时尚未提出建设方案的京沪等省区,这就意味着这21个省必定有无法达成建设目标的。  即便是明确提出国内百强的目标,江浙鄂鲁四省就已经瓜分了41席 其中某省计划独占国内百强的15席,50强的10席,其他省份的“压力山大”。  3、21省共计划建设世界一流学科至少58个,国内一流学科上百个 ESI前1%的学科至少325个,前1‰的学科20个左右 其中有省份提出2020年全国第1的学科占全国总数的10%左右,也有省份计划国内一流学科不低于国内总数10%,留给其他省份的一流学科额度不多了。  4、21个省份中有11个省提出了经费保障,粗略计算在400亿左右,不可不谓“大手笔”,大量的经费投入可以吸引人才,购置高端设备、改善办学环境,这些对于“双一流”建设是绝对不可或缺的,但是光有“钱”一定也不行。  附表是人工汇总的21省份“双一流”建设相关内容,如有遗漏或错误敬请指正。附表:21省份“双一流”建设相关内容汇总  (作者:于鲁江,同济大学发展规划研究中心规划专员)
  • “双一流”建设:在想象和热议中走过2016
    2015年8月,《统筹推进世界一流大学和一流学科建设总体方案》正式通过,“双一流”建设成为了继“211工程”和“985工程”之后,又一个以国字头命名的高等教育发展战略。在2016年,“双一流”建设成为了高教领域最受关注的话题。  近20年前的世纪之交,高等教育有关的话题曾经炙手可热。然而在过去的十多年里,中国故事上演更多的是关于环境、医疗、房地产的故事,高教事业的舞台被冷落已久。“双一流”建设为高等教育的布局和发展再一次打开了想象的大门。2016年,“双一流”建设在公众的热议和想象中开幕并落幕,翘首企盼了一年的教育部的那只靴子——拟于年内发布的“双一流”建设的实施办法——最终没有落下。  数量有了,质量还会远吗?  一流大学建设并不是一个新话题。早在上个世纪末“985工程”建设的命题里,一流大学建设就是其中的应有之义。但如今国务院“重提”一流大学建设,同一语句已经有了不同语境。在过去的十多年里,我国的高等教育事业已经发生了翻天覆地的变化,在很多定量指标方面都取得了非常耀眼的成绩和成就。  2016年4月,教育部首次发布的《中国高等教育质量报告》显示,2015年,中国在校大学生规模已经达到3700万人,占全球大学生总数的1/5,位居世界第一 各类高校2852所,仅次于美国位居世界第二 大学生毛入学率从改革开放之初的1.55%提高到40%,即将进入高等教育普及化阶段。  同时,我们的高等教育经费在过去的十多年里增长了3.6倍,高校专任教师数增加了2倍多,而45岁以下的青年教师占到了2/3,人才结构更加合理。从我国的科技产出来看,根据中国科技信息研究所2016年10月发布的科技论文统计结果,2016年我国高校被引国际论文数量、国际热点论文数量双双晋升一位,排在世界第三。八个学科领域的论文被引次数排名世界第二,十八个学科领域的论文被引次数进入世界前十。显然,目前我国的科研产出已经从单纯的国际论文数量的比拼,变成了高质量国际论文数量的比拼。如果单拼SCI论文数量的话,我国早在2010年就超过英国排在了世界第二。  教育部也已经认识到我国科教事业将面临的主要问题是质量而不是数量。因此,在评价导向上开始向质量类指标倾斜。2016年4月再次启动的全国第四轮学科评估工作中,对于指标体系进行了诸多层面的改革,包括以专家对师资队伍的水平、结果和国际化程度的综合评价取代之前的学术头衔评价方法,采用 A 类期刊指标(人文社科领域)中国版 ESI 高被引论文(自然科学领域)对学术论文进行评价等。  政策导向已经表明,在“双一流”建设的背景下,高等教育的下一个十年目标已经从发展数量转变成提升质量,从高等教育的普及阶段转变成拔尖阶段。  双一流建设 ≠ 双一流名单  坊间对“双一流”建设的议论,大部分关心的其实是“双一流”名单。2016年6月,教育部发布了一份公告,持续了20余年的“985工程”和“211工程”正式成为历史。在此背景下,“双一流”建设被解读为大学的又一次重新洗牌,能否进入新的“双一流”名单,决定了将来能否在政策倾斜和资源支持上占据有利地位。  教育部对这种声音进行了辟谣。教育部原部长袁贵仁也指出,“双一流”建设中不会像“211工程”和“985工程”那样固化身份,会采取一种开放的支持机制,对支持高校、支持学科和支持力度进行动态调整。然而,这并不妨碍坊间的竞猜和热议。  此外,各省份的一流大学和一流学科名单、建设目标相继出炉。例如,山东省选择了32个一流学科和13所高校进入立项建设名单 广东省教育厅拨款2亿元支持中山大学、华南理工大学冲击世界一流大学和一流学科。江苏省对进入全国百强的省属高校根据绩效评价结果,每年每校给予1亿元左右的资金支持。河北省将河北大学、河北工业大学、燕山大学、河北师范大学等4所高校列为该省重点支持的国家一流大学建设一层次高校。  然而,受第四届学科评估和教育部部长换届所累,教育部的“双一流”建设实施办法并没有如期在年内出炉。在其去年年底发布的《高等学校“十三五”科学和技术发展规划》中,虽有关于“双一流”建设的相关描述,但是并无新意。  “双一流”离不开一流学者  近十年来,国内膨胀最快的除了房地产,可能就是人才了。  这些年,我国在人才工程建设方面投入很大。2008年12月开始实施的中组部“千人计划”已经实施了8年,引进了6000余名高层次人才回国或来华服务。2012年,中组部又推出了“千人计划”的姊妹篇“万人计划”,计划用10年时间遴选支持1万名左右高层次创新创业人才。对于这些引进人才,中组部给予50万元或100万元的补助,而引进单位和所在地区另外给予的支持力度更是以百万计。例如,深圳大学的招聘信息中明确了广东省资助25万元个人补贴,深圳市资助个人补贴更是高达200万元等。  中组部的人才计划推动了人才从国外流向国内,而密集出台的各地人才计划则加剧人才在地区间的流动。近年来,各省市推出的各种人才计划多达近百个。在“双一流”建设启动之际,各地区对于一流人才的争夺更加激烈。广东省2016年度“珠江人才计划”,将资助金额最高提高到8000万元。四川省则提出向高校“双一流”建设重点学科倾斜,同时新增了顶尖人才项目,重点引进“千人计划”和“万人计划”入选者̷̷  随着“双一流”建设的临近启动,高校间的人才争夺战正进一步白热化。2016年,各高校校长最头疼的不是顶级人才引进不来,就是自家的一流学者被别人挖走。很多致力于在“双一流”建设中占有一席之地的地方高校不惜重金揽才,给出的优惠条件令人很难抗拒。  今天,每个头上“戴帽”的人才几乎都是待价而沽的凤凰,随时可能另栖高枝。然而令人担心的是,如果“双一流”建设沦落成对一流人才的抢夺,那么怎么保证“双一流”建设不会变成又一个零和游戏?(作者系大连理工大学教师胡志刚)

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  • 从“双一流”名单看高校中的三对“欢喜冤家”

    [color=#2d374b]近日,为媒体炒作很久的“双一流”名单终于尘埃落定,正式公布。这也意味着“双一流”建设进入实施操作阶段。细读公布的名单,其中颇有耐人寻味之处。。。[/color][url]http://www.instrument.com.cn/news/20170922/229874.shtml[/url]

  • 【讨论】全国一流,世界标准——请问您的检测水平达到全国一流了么?!

    离广州亚运会还有4个月的时间,负责广州亚运会的广州市农业标准与监测中心也专门购买了1900万检测设备,主要对亚运期间的农产品展开严密监控。该中心主任声称——广州农业标准与监测中心在硬件上已经达到了“全国一流,世界标准”,其中绝大部分应该都是进口的仪器吧!但,不知道其检测水平是否达到全国一流?不要又出现类似砒霜门事件!另外一个疑问,亚运之后,该中心1900万仪器又能做啥子?闲置么?银子就是这样装进别人的口袋!唉,自己躲在角落里感慨去了~[img]http://simg.instrument.com.cn/bbs/images/brow/em09508.gif[/img]

  • 方向委员:计量科技 迈向世界一流

    [color=#333333]2018全国两会 [/color][color=#333333]即时新闻:[/color][color=#333333][b]方向委员:计量科技 迈向世界一流[/b][/color][color=#333333]方向委员(中国计量科学研究院院长)  改革开放特别是党的十八大以来,我国计量科技快速向世界一流迈进,主要创新指标开始进入世界前列。  计量科技以强国富民为使命,支撑着国家重大战略工程建设和民生改善。  根据国际计量局2017年年底公布的数据,我国的国际互认的国家校准和测量能力(CMC)数量达到1523项,国际排名第四,亚洲排名第一,2018年有望进入世界计量强国第一方阵。在若干领域,我国开始成为全球的计量创新引领者,在计量量子化变革和计量单位重新定义中作出了积极贡献。此外,由中国计量院历经二十多年完成的科研项目量子化霍尔电阻基准,准确度比当时国外最高水平高出10多倍。这一系列技术成果彰显了中国的大国地位和担当,也使中国的计量科技实现了从跟跑、并跑到领跑的逐步提升。  作为计量科技工作者,我们要朝着建成世界一流计量强国奋力前行,为强国富民提供更多保障。[/color]

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双一流建设相关的仪器

  • 电镜制样设备CCU-010 LV_SP离子溅射镀膜仪紧凑型、模块化和智能化CCU-010为一款结构紧凑、全自动型的离子溅射和/或蒸发镀碳设备,使用非常简便。采用独特的插入式设计,通过简单地变换镀膜头就可轻松配置为溅射或蒸镀设备。在镀膜之前和/或之后,可以进行等离子处理。模块化设计可轻松避免金属和碳沉积之间的交叉污染。CCU-010标配膜厚监测装置。 特点和优点 ✬ 高性能离子溅射✬ 独特的即插即用溅射模块✬ 一流的真空性能和快速抽真空✬ 结构紧凑、可靠且易于维修✬ 双位置膜厚监控装置,可兼容不同尺寸的样品✬ 主动冷却的溅射头可确保镀膜质量并延长连续运行时间巧妙的真空设计CCU-010 LV精细真空镀膜系统专为SEM和EDX的常规高质量溅射镀膜和镀碳而设计,CCU-010 LV_SP-010为磁控离子溅射镀膜仪。模块化的设计可将低真空单元很轻松地升级为高真空单元。特别选择和设计的材料、表面和形状可大大缩短抽真空时间。两个附加的标准真空法兰允许连接第三方设备。溅射模块 SP-010 & SP-011两种溅射模块一旦插入CCU-010 LV镀膜主体单元,即可使用。SP-010和SP-011溅射模块具有有效的主动冷却功能,连续喷涂时间长-非常适合需要较厚膜的应用;可选多种溅射靶材。SP-010溅射装置的磁控组件旨在优化靶材使用。这使其成为电子显微镜中精细颗粒贵金属镀膜的理想工具。对于极细颗粒尺寸镀膜,推荐使用涡轮泵抽真空的CCU-010 HV镀膜主体单元。SP-011溅射装置的磁控组件用于大功率溅射和宽范围材料的镀膜。对那些比常规EM应用要求镀膜速率更高、膜层要求更厚的薄膜应用时,推荐使用该溅射头。等离子刻蚀单元 ET-010在对样品进行镀膜之前或镀膜之后,可以对样品进行等离子刻蚀处理。使用该附件,可以选择氩气、其它蚀刻气体或大气作为处理气体。这样可以在镀膜前清洁样品,增加薄膜的附着力。也可在样品镀膜后进行等离子刻蚀处理,从而对膜层表面进行改性。RC-010手套箱应用的远程控制软件◎基于window的远程控制软件◎创建和调用配方◎实时图表,包含导出功能(Excel、png等)◎自动连接到设备可选多种样品台CCU-010提供一个直径不小于60mm的样品台,该样品台插入到高度可调且可倾斜的样品台支架上。可选其它专用的旋转样品台、行星台、载玻片样品台等。CCU-010 LV系列镀膜仪版本除了电镜制样设备CCU-010 LV_SP离子溅射镀膜仪之外,还可以选择:CCU-010 LV热蒸发镀碳仪;CCU-010 LV离子溅射和镀碳一体化镀膜仪;CCU-010 LV手套箱专用镀膜仪。所有CCU-010 LV版本均采用TFT 触摸屏操控,配方可编程,保证结果可重复;具有断电时系统自动排气功能,防止系统被前级泵油污染。
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  • 设备简介东方天净TJF溢流微粉机-刀式研磨仪是天津东方天净生产的简易刀式研磨仪,其转刀在高速旋转时,会形成负压中心,通过气流分级将样品物料带离粉碎腔室,达到粉碎粒度要求的物料会进入收集仓,剩余物料停留在粉碎仓继续粉碎。TJF溢流微粉机-刀式研磨仪由投料口、集料罐、粉碎室、高速电机等部位组成。样品物料从投料口进入粉碎室,被高速旋转的刀片(每分钟可达22000转)撞击并粉碎,另外刀片的高速旋转也引起空气气流的流动,从而把粉碎后的物料带到粉碎罐中,气流经滤袋排出,完成样品的粉碎。应用领域TJF溢流微粉机-刀式研磨仪可用于中药材、矿石、珍珠、农药、生物、化妆品、食品、饲料、化工、陶瓷等多个行业干性物料的细粉碎需求。产品特点1、将机械式粉碎、旋风粉碎结合与一体,特殊结构的刀型,扩大了粉碎范围,适应多种不同物料的粉碎需求。2、样品出料粒度细,纤维物料的粉碎粒度可小于100μm,硬脆性物料的粉碎粒度可小于44μm。3、仪器体积小,重量轻,可放置在台面上使用。4、操控性好,透明腔体便于观察,可连续投料。5、清理方便,无需过筛。由于采用全密闭结构,操作人员不与粉碎室直接接触,安全性能好。性能参数
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  • VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪是我公司自主新研制开发的一款高真空镀膜设备,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪配备有两个靶枪和两个电源,一个射频电源用于非导电材料的溅射镀膜,一个直流电源用于导电材料的溅射镀膜,可选配强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。与同类设备相比,且具有体积小便于操作的优点,且可使用的材料范围广,是一款实验室制备各类材料薄膜的理想设备。1、配置两个靶枪,一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,一个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。2、可制备多种薄膜,应用广泛。3、体积小,操作简便。产品名称VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪产品型号VTC-600-2HD安装条件本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø 6mm双卡套接头)及减压阀4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上5、通风装置:需要主要参数1、电源电压:220V 50Hz2、功率:900W3、腔体内径:Ø 300mm4、极限真空度:9.0×10-4Pa5、样品台加热温度:RT-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度)6、靶枪数量:2个(可选配其他数量)7、靶枪冷却方式:水冷8、靶材尺寸:Ø 2″,厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)9、直流溅射功率:500W;射频溅射功率:300W。(靶电源种类可选,可选择两个直流电源,也可选择两个射频电源,或选则一个直流一个射频电源)10、载样台:Ø 140mm,可根据客户需求选配加装偏压功能,以实现更高质量的镀膜。11、载样台转速:1rpm-20rpm内可调12、工作气体:Ar等惰性气体13、进气气路:质量流量计控制2路进气,一路为100SCCM,另一路为200SCCM。产品规格1、主机尺寸:500mm×560mm×660mm2、整机尺寸:1300mm×660mm×1200mm3、真空室规格:φ300×300mm4、重量:160kg标准配件1直流电源控制系统1套2射频电源控制系统1套3膜厚监测仪系统1套4分子泵(德国进口或者国产更大抽速)1台5冷水机1台6聚酯PU管(Ø 6mm)4m可选配件金、铟、银、铂等各种靶材可选配强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜
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