超大尺寸可调镜

仪器介绍 OPA-1000 全自动超大尺寸金属构件原位分析仪是国家重大科学仪器专项开发成果，采用我国首创的原位统计分布分析技术和高通量统计映射技术，在超大尺寸构件级别金属材料试样的重大突破。国际上首台具有自主知识产权专利技术、全自动超大尺寸金属构件高通量原位统计分布分析表征仪器。工作原理 原位统计分布分析技术 (Original Statistic Distribution Position Analysis，OPA) 是对被分析对象的原始状态的化学成分和结构进行分析的一项技术。采用高稳定性连续激发火花光源激发大面积金属材料，通过对无预燃、连续扫描激发所产生的单次放电光谱信号进行直接放大和高速数据采集和数学表征模型，从而得到样品表面不同位置的原始状态下的化学成分以及表面的结构信息，进而实现样品的成分以及状态定量分析。仪器特点超大尺寸构件剖面各元素成分的位置定量分布表征： 获得任意点阵坐标位置（X，Y）上，各元素的准确含量 任意线段各元素含量的定量分布变化表征 全域各部位各元素定量分布变化趋势和取向表征超大尺寸构件全域（或局域）各元素的偏析度表征： 依托各元素海量点阵数据，建立含量 - 频度统计分布的表征模型，实现大尺寸构件全域（或局域）各元素的偏析度、符合度、疏松度等各参量跨尺度统计表征解析。 超大尺寸构件全域（或局域）夹杂物分布表征： 依据单次放电沿夹杂物 ( 析出相 ) 边界扩散放电的理论，建立夹杂物状态分布的相关表征模型，实现大尺寸构件全域（或局域）： （1）夹杂物分类定量表征 （2）夹杂物粒度分布表征 （3）夹杂物位置分布表征 样品加工与分析测量无缝衔接： 采用构件自动加工、精准扫描定位、光谱定量分析三位一体系统化专有技术、实现了样品加工与分析测量无缝衔接。 适应不同形状试样： 采用自适应模拟匹配扫描技术，可以适应样品的不同形状全域原位统计分布分析样品尺寸小于 1000mm*510mm。 数据及可视化： 高速数据采集运算处理技术实现实时数据与扫描同步 依据海量数据及专用模型，实现一系列参量（各元素含量 / 夹杂物等）的全域或局域的统计分布可视化图形表述（频度分布图，特定线段一维分布图，剖面二维视图，剖面三维视图等） 仪器重要应用： 超大尺寸金属构件成分偏析度表征 金属材料构件各向异性取向表征 材料基因组工程高通量原位统计映射表征仪器参数分析系统： 火花频率 (Hz)：300-800 光栅： 焦距 (mm)： 500，刻线密度 ( 线 /mm)：2700 线分辨率 (nm/mm)： 0.7407 波长范围 (nm)： 130-800 采集系统： 传输方式： Ethernet 控制方式： COM 频率 (kHz)： 100 通道数量： 最大 64 扫描： 速度 (mm/min)： 60-180，最大扫描范围： 1000mm*500 mm方式：蛇形无预燃、矩形无预燃、矩形带预燃、圆形带预燃、米形带预燃、异形带预燃 表征： 疏松：统计致密度、统计疏松度 偏析：一维、二维、三维、统计 夹杂：二维、三维、粒度统计 夹杂通道：最大8个 偏析通道：最大20个 计算方式：并行运算 数据量：最大 5GB/ 每个样品 电源要求： 220（1±10%）VAC，50Hz 整机重量： 约 9000kg加工系统： 结构形式：十字滑台轴数：3轴 + 1轴行程：X轴 1200mm Y轴 510mm Z轴 560mm；W轴 560mm移动速度：1mm/min~24000mm/min位置精度：双向定位精度(mm) X轴 0.016/0.010；Y/Z/W轴0.012/0.010 双向重复定位精度（mm）X轴 0.008/0.006 Y/Z/W轴0.008/0.006 工作台：尺寸（mm）610*1500控制系统：日本FAUNC系统主轴端面至工作台面距离（mm）：152-712切削进给速度（mm/min）：3-15000压缩空气工作压力（MPa）：0.6工件最大重量：最大承载能力（均布）900kg可加工面积（mm*mm）：1200*510平面度（mm）：0.04/1000加工粗糙度：Ra3.2扫描形式：方形、圆形、米形、扇形、异形

[ 产品简介 ]蔡司材料显微镜Axio Imager Vario，用于大尺寸样品的显微分析和测量，如晶圆缺陷观察，玻璃内部杂质分析，珍贵文物鉴定等。由于其超大的样品空间和卓越的光学质量，是实验室研究和工业生产中不可或缺的大尺寸样品分析解决方案。[ 产品特点 ]&bull 超大的样品空间-高达纵向254mm和横向300x300mm的样品移动空间&bull 认证的超净室组件-符合DIN EN ISO 14644-1标准中的ISO 5 等级要求&bull 精准快速自动聚焦-可实现高达12000 μm范围内快速精确的焦点捕获和自动聚焦[ 应用领域 ]&bull 晶体硅太阳电池&bull 太阳电池的丝网印刷&bull 薄膜太阳电池&bull 晶圆检测&bull 光掩膜检测&bull 面板TFT阵列检测&bull 汽车材料分析TFT显示器，10X物镜，透射明场芯片，反射光明场，10X物镜

超大尺寸可调光学镜架超大尺寸可调光学镜架5LAOM-600专门为直径达600毫米的超重型、超大尺寸光学元件制作。最小夹持直径为500毫米（使用额外的夹具）。水平和俯仰旋转调节范围为360°。元件需要精确定位时，角度调节幅度为±4°。由于使用了弹簧加载驱动机构，确保转动顺滑且无空回。松开固定装置手轮时，可进行360°全角旋转；锁定固定装置时，可进行±4°精确角度定位。该光学镜架可以固定和定位重达150公斤的光学元件或其它物体。真空兼容的型号5LAOMV-600也可按用户要求订制。全角旋转范围（水平及俯仰）360°精确旋转范围±4°分辨率3 arcsec灵敏度1 arcsec空回0孔径?590 mm最大光学元件直径?600 mm最小光学元件直径?500 mm最大光学元件厚度100 mm最大载荷能力150 kg真空兼容的型号可订制电动旋转的型号可订制产品特点：●水平及俯仰360°全角旋转可调●抗震稳定性强●最大孔径600mm●精确旋转时，转动分辨率达3 arcsec●真空兼容的型号可订制●电动旋转的型号可订制