氮化镓中台阶分布状态检测方案(扫描探针)

智能文字提取功能测试中

Nanosurf AGGrammetstr. 14CH-4410 LiestalTel+41-61-927 56 46 Fax +41-61-927 56 47www.nanosurf.com2006 Nanosurf AG， SwitzerlancNanosurf and the Nanosurf Logo are trademarks of Nanosurf AG， registered and/or otherwise protected in various countries. Screw dislocations in GaN Nanosurf@ - Application Note No. 00164 Gallium nitride features some unique properties [1] such as large band gap， stronginteratomic bonds， and high thermal conductivity. Along the last decade， GaN hasattracted great interests owing to its potential applications in high power and highfrequency electronic devices [2] as well as in blue LED devices [3]. GaN layers areusually grown by Metal Organic Chemical Vapor Deposition and the Molecular BeamEpitaxy methods. GaN， different sample preparation conditions. Image size 5x5 um， Z-range 1.5 nm Sample courtesy： Dr Rachel Oliver， The Cambridge Centre for Gallium Nitride，Department of Materials Science and Metallurgy， University of Cambridge. [1] S. Strite， M. E. Lin， and H. Morokc， Thin Solid Films 231， 197 (1992). [2] J. W. Orton and C.T.Foxton， Rep. Progr. Phys. 61， 1(1998). [3] S. Nakamura， M. Senoh，S. Nagahama， N. Iwasa， T.Yamada， T. Matsushita， H. Kiyohu， and Y.Sguimoto， Jpn. J. Appl. Phys. 35， L74 (1996).rA1 p Ruteran [4] P. Ruterana and G. Nouet， phys. stat. sol. (b) 227， 177 (2001). Can be measured with： Mobile S HR A pplication domain： Coating Nanite B HR： Material ScienceeasyScan 2 AFM HRPhysics New Material Sapphire isnowtthe mmoosstt commonlyused substrate athough of its highlymismatched lattice and thermalexpansion coefficients. As aconsequence， the obtained GaN layersoften contain an large number defects[4]， mainly dislocations.The image shows a piece of GaN withsteps and screwdislocationsi (holes).The qoal istocount numberofdislocations and step distribution. Nanite 原子力显微镜系统是纳米测量和成像的完美工具。该系统提供三维数据。原子力显微镜测量是非破坏性的，无需制备样品。此外，机械运动平台允许批量的，预编程测量，使用大型花岗岩自动X/Y/Z样品台可测试尺寸达180mm样品的不同区域，用户甚至可以定制更大的移动样品台。Nanite设计灵活、操作简单，是您理想的全自动研究级AFM系统。瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针原子力显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针原子力显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针原子力显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。技术参数：原子力显微镜测量模式: 接触式原子力显微镜，真正非接触式原子力显微镜，横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。 ●  原子力显微镜扫描器最大测量范围：110um X & Y range，22um Z range ●  大尺寸样品台，全自动测量最大直径为160mm样品。 ●  PZT/Voice Coil双模式技术AFM ●  全自动运动平台，马达驱动 ●  专利批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像 ●  先进的32-bit DSP控制器，专利反馈技术(扫描范围>10um时最高扫描20 Hz,消除爬行现象) ●  可以进行纳米压痕和划痕实验 ●  专利光学系统， XY闭环扫描技术 ●  独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发主要特点：● 原子力显微镜扫描器最大测量范围：110um X & Y range，22um Z range● 大尺寸样品台，全自动测量最大直径为160mm样品。● PZT/Voice Coil双模式技术AFM● 全自动运动平台，马达驱动● 专利批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像● 先进的32-bit DSP控制器，专利反馈技术(扫描范围>10um时最高扫描20 Hz,消除爬行现象)● 可以进行纳米压痕和划痕实验● 专利光学系统， XY闭环扫描技术● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发