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高纯砷烷、磷烷中杂质分析检测方案(气相色谱仪)

检测样品 半导体材料

检测项目 杂质分析

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爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处

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方案详情文

本文主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法，一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、SiH4、AsH3。并验证方法的可行性。

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本文主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法，一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、SiH4、AsH3。并验证方法的可行性。详情见附件                    

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产品配置单

爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处为您提供《高纯砷烷、磷烷中杂质分析检测方案(气相色谱仪)》，该方案主要用于半导体材料中杂质分析检测，参考标准《暂无》，《高纯砷烷、磷烷中杂质分析检测方案(气相色谱仪)》用到的仪器有AGC 600DID氦离子化气相色谱仪。

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