美国 KRi 霍尔离子源辅助镀膜 IBAD 应用

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‍‍‍‍上海伯东美国 KRi 霍尔离子源辅助镀膜 IBAD 应用上海伯东美国 KRi 霍尔离子源 EH 系列, 提供高电流低能量宽束型离子束, KRi 霍尔离子源可以以纳米精度来处理薄膜及表面, 多种型号满足科研及工业, 半导体应用. 霍尔离子源高电流提高镀膜沉积速率, 低能量减少离子轰击损伤表面, 宽束设计提高吞吐量和覆盖沉积区. 整体易操作, 易维护, 安装于各类真空设备中, 例如 e-beam 电子束镀膜机, load lock, 溅射系统, 分子束外延, 脉冲激光沉积等, 实现 IBAD 辅助镀膜的工艺.KRi 霍尔离子源特点‍‍高电流低能量宽束型离子束灯丝寿命更长更长的运行时间更清洁的薄膜灯丝安装在离子源侧面‍‍KRi 霍尔离子源辅助镀膜 IBAD 典型案例:设备: 美国进口 e-beam 电子束蒸发系统离子源型号: EH 400应用: IBAD 辅助镀膜, 通过向生长的薄膜中添加能量来增强分子动力学, 以增加表面和原子 / 分子的流动性, 从而导致薄膜的致密化或通过向生长薄膜中添加活性离子来增强薄膜化合物的化学转化, 从而得到化学计量完整材料.离子源对工艺过程的优化: 无需加热衬底, 对温度敏感材料进行低温处理, 简化反应沉积.‍‍通过使用美国 KRi 霍尔离子源可以实现增强和控制薄膜性能, 薄膜致密化的改进, 控制薄膜化学计量, 提高折射率, 降低薄膜应力, 控制薄膜微观结构和方向, 提高薄膜温度和环境稳定性, 增加薄膜附着力, 激活表面,平滑的薄膜界面和表面,降低薄膜吸收和散射,增加硬度和耐磨性.美国  KRi 离子源适用于各类沉积系统, 实现 IBAD 辅助镀膜 (电子束蒸发或热蒸发, 离子束溅射, 分子束外延, 脉冲激光沉积)美国 KRi 霍尔离子源 eH 系列在售型号:型号eH400eH1000eH2000eH3000eH Linear中和器F or HCF or HCF or HCF or HCF阳极电压50-300 V50-300 V50-300 V50-250 V50-300 V离子束流5A10A10A20A根据实际应用散射角度>45>45>45>45>45气体流量2-25 sccm2-50 sccm2-75 sccm5-100 sccm根据实际应用本体高度3.0“4.0“4.0“6.0“根据实际应用直径3.7“5.7“5.7“9.7“根据实际应用水冷可选可选是可选根据实际应用F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current上海伯东同时提供 e-beam 电子束蒸发系统所需的涡轮分子泵, 真空规, 高真空插板阀等产品, 协助客户生产研发更高质量的设备.1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域. 上海伯东是美国 KRi 考夫曼离子源中国总代理.若您需要进一步的了解考夫曼离子源, 请联络上海伯东叶女士上海伯东版权所有, 翻拷必究！‍‍‍‍‍‍地址：上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 伯东企业(上海)有限公司 HAKUTO ENTERPRISES (SHANGHAI) LTD. 地址：上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 H akuto TEL： (86) 21-5046 3511 FAX： (86) 21-5046 1490 WEB： https：//www.hakuto-vacuum.cn/ 上海伯东美国 K Ri 霍尔离子源 辅助镀膜 IBAD 应用 上海伯东美国 K Ri 霍尔离子源 EH 系列，，：提供高电流低能量宽束型离子束， KRi 霍 尔离子源 可以以纳米精 度来处理薄膜及表面，多种型号满足科研及工业，半导体应用.霍尔离子源 高电流提高镀膜沉积速率，，1低 能量减少离子轰击损伤表面，宽束设计提高吞吐量和覆盖沉积区.整体易操作，，易维护，安装于各类真空 设备中，例如 e-beam 电子束镀膜机， load lock， 溅射系统，分子束外延，脉冲激光沉积等，实现 IBAD 辅 助镀膜的工艺. KRi 霍尔离子源 特点 KRi 霍尔离子源 辅助镀膜 IBAD 典型案例： 设备：美国进口 e-beam 电子束蒸发系统 离子源型号： EH 400 应用： IBAD 辅助镀膜，通过向生长的薄膜中添加能量来增强分子动力学，以增加表面和原子/分子的流 动性，从而导致薄膜的致密化或通过向生长薄膜中添加活性离子来增强薄膜化合物的化学转化，从而得到 化学计量完整材料. 离子源对工艺过程的优化：无需加热衬底，对温度敏感材料进行低温处理，简化反应沉积. 伯东企业(上海)有限公司 HAKUTO ENTERPRISES (SHANGHAI) LTD. H akuto TEL： (86) 21-5046 3511 FAX： (86) 21-5046 1490 WEB： https：//www.hakuto-vacuum.cn/ Kaufm a n 通过使用美国 KRi 霍尔离子源 可以实现 增强和控制薄膜性能，薄膜致密化的改进，控制薄膜化学计量，提高折射率，降低薄膜应力，控制薄膜微 观结构和方向，提高薄膜温度和环境稳定性，增加薄膜附着力，激活表面，平滑的薄膜界面和表面，降低薄 膜吸收和散射，增加硬度和耐磨性. 美国 KRi 离子源 适用于各类沉积系统，实现 IBAD 辅助镀膜 模 (电子束蒸发或热蒸发，离子束溅射，分子 束外延，脉冲激光沉积) 人 伯東 KRi Kaufman& ROBINSON 伯东企业(上海)有限公司 HAKUTO ENTERPRISES (SHANGHAI) LTD. 地址：上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 TEL： (86) 21-5046 3511 FAX： (86) 21-5046 1490 WEB： https：//www.hakuto-vacuum.cn/ 美国 KRi 霍尔离子源 eH 系列在售型号： 型号 eH400 eH1000 eH2000 eH3000 eH Linear 中和器 For HC F or HC F or HC For HC F 阳极电压 50-300V 50-300 V 50-300 V 50-250 V 50-300 V 离子束流 5A 10A 10A 20A 根据实际应用 散射角度 >45 >45 >45 >45 >45 气体流量 2-25 Sccm 2-50SCcm 2-75 sccm 5-100 sccm 根据实际应用 本体高度 3.066 4.0 4.066 6.0 根据实际应用 直径 3.7Gh 5.7“ 5.7 9.7 根据实际应用 水冷 可选 可选 是 可选 根据实际应用 F = Filament； HC = Hollow Cathode； x02 =Optimized for 02 current 上海伯东同时提供 e-beam 电子束蒸发系统所需的 涡轮分 子 泵 ，真 空 规，高真空插 板阀 等产品，协助客户生 产研发更高质量的设备. 1978年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson， Inc公司，研发生产 考夫曼离子源，霍尔离 子源 和 射频离子源 .美国 考夫 曼离子源 历 经40年改良及发展已取得多项专利.离子源广泛用于离子清洗 PC， 离子蚀刻 IBE，辅助镀膜 IBAD， 离子溅射镀膜 IBSD 领域.上海伯东是美国 KRi 考 夫曼 离子源 中国总 代理. 若您需要进一步的了解 考 夫曼离子源 ，请 请参考以下联络方式 上海伯东：叶小姐 台湾伯东：王小姐 T： +86-21-5046-3511 ext 107T：+886-3-567-9508 ext 161F： +86-21-5046-1490F： +886-3-567-0049M： +86 1391-883-7267M：+886-939-653-958 上海伯东版权所有，翻拷必究!