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【求助】请问XRF测薄膜厚度如何做啊

  • mingmingtao
    2007/10/30
    • 私聊

X射线荧光光谱仪（XRF）

  • 我们有个布鲁克的XRF，我想用来测薄膜厚度，可是每次都计算不收敛，

    我薄膜主要是ITO玻璃上的TiO2，WO3等等。

    各位大侠请了。

    惭愧啊惭愧，
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    +关注 私聊

  • 天枫

    第1楼2007/11/14

    XRF好像只能测试金属镀层的厚度。

    mingmingtao 发表:我们有个布鲁克的XRF，我想用来测薄膜厚度，可是每次都计算不收敛，

    我薄膜主要是ITO玻璃上的TiO2，WO3等等。

    各位大侠请了。

    惭愧啊惭愧，

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    +关注 私聊

  • lll929

    第2楼2007/12/02

    这需要厂家给装上测试镀层厚度的软件,才可以测试膜度.

0
    +关注 私聊

  • arbo

    第3楼2007/12/11

    你的膜有多厚，如果薄的话采用发射法，测膜种主要元素的强度，如果比较厚的话，采用吸收法，测基体材料中主要元素的强度。注意不同谱线在材料中的临界厚度。

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