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【求助】关于FIB的问题

透射电镜(TEM)

  • 我们做的是CVD生长的微米级陶瓷膜,要用TEM观察生长层和基底的界面结构,之前一直在用常规方法制备样品,对粘,包埋,粗磨,冲片,细磨,凹坑,减薄,此方面的经验已有不少,但由于gatan pips 691 减薄时不能精确定位,以及电压、束流、角度等参数变化的影响,最终不容易得到特别好的界面薄区,因此界面信息一直不理想。所以,想咨询一下,这种生长陶瓷膜的界面样品制备,FIB是不是更合适?因为本校没有,也未接触过,所以想请教高人,具体的问题如下:
    1 进行FIB操作,对样品有什么特定要求,形状也是3mm吧,厚度有什么要求?是不是也像进行离子减薄前一样,需要细磨到30微米左右?
    2 FIB减薄样品需注意的问题主要是什么?做常规界面TEM的朋友应该知道,整个过程是个耐心活儿,有一些小细节需要注意。不知道FIB需要注意哪些主要事项。
    3 减薄的成功率怎么样?如果能精确定位,是不是进行FIB的试样通通都能够减成功?
    4 国内哪些单位可以做,或者哪些单位的FIB用的比较多?
    以上问题,请高人赐教,如果哪位朋友直接能够负责操作,能站内留下联系方式。谢谢了
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  • imrxps

    第1楼2007/11/04

    FIB很贵很贵的啊,兄弟

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  • jcpeng

    第2楼2007/11/05

    我听说清华有,别的不好回答:)

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  • imrwb

    第3楼2007/11/07

    如果有别的方法,暂时不要考虑FIB,首先使用费用很高,其次一般都很忙,再次FIB也不一定就像想象的那样很有效。

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  • xiongey

    第4楼2007/11/09

    《FIB(聚焦离子束)分析技术》研讨会

    各相关单位:
    近年来,FIB(聚焦离子束)在集成电路中的多种独特用途使其得到广泛的重视。FIB系统可以进行芯片形貌观察、制备机械探针、制备测试通孔、失效分析的局部剖切、失效分析的局部剥层和电路修改,为芯片研发和芯片制程分析过程提供了至关重要的辅助支持, FIB设备也因此成为自20世纪90 年代以来芯片产业必备分析设备之一。
    作为我国最早专业的微电子失效分析机构,为更好地为集成电路设计公司和制造公司服务,在我们已有分析能力的基础上,本实验室于今年5月新引进了一套V600型FIB系统。
    针对广大业界客户需求,中国赛宝实验室可靠性研究分析中心与德国布鲁克公司联合组织召开本次《FIB分析技术研讨会》。通过本次研讨会,参与企业可以深入了解FIB的工作能力,以及在优化公司设计流程和成本方面的重要作用。
    热忱欢迎您的参加!

    主办单位:中国赛宝实验室可靠性研究分析中心

    协办单位: 德国布鲁克公司
    参加人员:IC设计人员 芯片制造人员 失效分析工程师
    会议时间:2007年12月15日
    费 用: (每单位享有3个免费名额,名额有限,预报从速)
    地 点:深圳市新豪方酒店
    日程安排:

    时间    主讲内容
    12:30-13:30    签到
    13:30-15:00    先进的失效分析技术
    15:00-15:10    茶歇
    15:10-15:40    德国布鲁克SDD能谱仪及其应用
    15:40-15:50    茶歇
    15:40-17:00    FIB技术研讨
    17:00-17:30    讨论、交流
    讲师简介:
    费庆宇 中国赛宝实验室(信产部电子第五研究所)可靠性研究分析中心高级工程师。长期从事半导体器件(包括集成电路和GaAs微波器件等)的失效机理和失效分析技术研究。分别于1989年、1992-1993年、2001年赴德国、加拿大和美国作访问学者。曾在国内外刊物和学术会议上发表论文三十余篇。曾多次应邀外出讲学,曾多次主持重大课题研究,他主持的《VLSI失效分析技术》课题荣获2003年度国防科技二等奖。
    联系方式:
    联系人:熊娥英 电话:020-87236986 传真:020-87237185
    网址:www.rac.ceprei.com EMAIL:xiongey@ceprei.com

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  • xiongey

    第5楼2007/11/09

    您可以致电到我们实验室 020-87236477找费庆宇工程师,他可以解答您的问题.

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  • zhixinkeji

    第6楼2008/04/04

    关于FIB的需要,请访问我们的网页,有什么需要可以随时和我们联系,我们在FIB行业属于国内领先水平,并专门对外服务.http://www.51icjm.com.cn

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  • Insm_d40d950e

    第7楼2021/07/29

    无磁性,平整,表面最好抛光过就可以了,尺寸3mm以后都可以,大点也没关系

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