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第4楼2007/11/09
《FIB(聚焦离子束)分析技术》研讨会
各相关单位:
近年来,FIB(聚焦离子束)在集成电路中的多种独特用途使其得到广泛的重视。FIB系统可以进行芯片形貌观察、制备机械探针、制备测试通孔、失效分析的局部剖切、失效分析的局部剥层和电路修改,为芯片研发和芯片制程分析过程提供了至关重要的辅助支持, FIB设备也因此成为自20世纪90 年代以来芯片产业必备分析设备之一。
作为我国最早专业的微电子失效分析机构,为更好地为集成电路设计公司和制造公司服务,在我们已有分析能力的基础上,本实验室于今年5月新引进了一套V600型FIB系统。
针对广大业界客户需求,中国赛宝实验室可靠性研究分析中心与德国布鲁克公司联合组织召开本次《FIB分析技术研讨会》。通过本次研讨会,参与企业可以深入了解FIB的工作能力,以及在优化公司设计流程和成本方面的重要作用。
热忱欢迎您的参加!
主办单位:中国赛宝实验室可靠性研究分析中心
协办单位: 德国布鲁克公司
参加人员:IC设计人员 芯片制造人员 失效分析工程师
会议时间:2007年12月15日
费 用: (每单位享有3个免费名额,名额有限,预报从速)
地 点:深圳市新豪方酒店
日程安排:
时间 主讲内容
12:30-13:30 签到
13:30-15:00 先进的失效分析技术
15:00-15:10 茶歇
15:10-15:40 德国布鲁克SDD能谱仪及其应用
15:40-15:50 茶歇
15:40-17:00 FIB技术研讨
17:00-17:30 讨论、交流
讲师简介:
费庆宇 中国赛宝实验室(信产部电子第五研究所)可靠性研究分析中心高级工程师。长期从事半导体器件(包括集成电路和GaAs微波器件等)的失效机理和失效分析技术研究。分别于1989年、1992-1993年、2001年赴德国、加拿大和美国作访问学者。曾在国内外刊物和学术会议上发表论文三十余篇。曾多次应邀外出讲学,曾多次主持重大课题研究,他主持的《VLSI失效分析技术》课题荣获2003年度国防科技二等奖。
联系方式:
联系人:熊娥英 电话:020-87236986 传真:020-87237185
网址:www.rac.ceprei.com EMAIL:xiongey@ceprei.com