【原创】自己拆解安捷伦气质5973，修理分子涡轮泵

断开质谱和气相一条连线

按图示取出电气模块的挡板

应助达人

楼主真强！佩服！

断开真空室侧板的5处连线


拧开电器模块的固定螺母

向前平拉出电器模块（后面的电线全部断开）

电器模块拆除后的样子

现在拆除真空室侧板（贵重配件，一定要小心）。打开到大概70度的样子，双手
拿稳，向上慢慢举起

侧板拆除后的样子

现在拆真空室和分子涡轮泵。我是两者一起拆，安捷伦工程师是分开拆。我认为一起拆较好，因为能少动一个部件就少动。拧掉固定真空室的六个螺母


取出后部涡轮泵电器控制模块。先向左转一点，再向后拉。（右边两个卡位，左
前有一个卡位）


拆除分子涡轮泵的插头和真空管路。拆插头时注意：用手摸到插头后部，会有个手柄，小心逆时针旋转，插头自己就掉出来了。

好了，现在就要找个有力气的，双手拿住真空室向上提出（小心真空室后部的真空硅管，别搞破了）真空室和分子涡轮泵。拆解完毕。
安装回去的过程向反。不过要注意几点。首先是电器控制模块有个卡位，安回去时要卡到位。


其次，后部的电线要记住插哪里，不要插错了。这是全部插完后的样子。

最后还是要提醒大家，没事不要自己拆，拆坏一个部件那就很要命了，安捷伦的报价会吓你一跳（垄断的好处）！
欢迎大家和我交流，smallhome@163.com

大牛啊。拆这东西很麻烦的

楼主真厉害啊

牛，改天我试试拆岛津的，呵呵

恩，强，第一次看到

好好学习了