第6楼2005/02/28
1,SEM图像的反差只能是黑白的,所以你问黑白反差。。。
2,SEM样本室内的不同的探测器收集不同的信号,所有信号都是由一次入射电子引发的,图像信号是最普遍的一种。
3,一次电子打在样本上,反射出不同的电子,基本上反射出电子多的地方就较亮,被激发出较少电子的地方就较暗, 法拉第杯就是全黑
4,弹性散射和非弹性散射所产生的电子都可以产生反差,弹性散射产生背散射电子, 背散射电子反映成分反差,非弹性散射产生二次电子,二次电子和背散射电子共同反映了形貌反差
5,只有在场发射电镜镜筒中的电子检测器才能收集到纯二次电子信号,一般我们称ET探测器为二次电子检测器, 但是它收集的是30%的二次电子和70%的背散射电子,在加上这种探测器的检测角度,最容易检测形貌反差
6,闪烁体式背散射电子检测器主要检测成分反差, 硅片固体式背散射电子检测器可以通过不同的设置检测到成分反差和形貌反差