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【讨论】HF酸在清洗中的作用

  • zouhua1210
    2008/07/03
  • 私聊

分析化学

  • 涉及到硅片的清洗,很多标准清洗方法中都要用HF酸清洗。这是为什么?我们可不可以用其他试剂代替它的作用,因为HF使用时对人体的可能的危害很大。
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  • 唐伯猫点蚊香

    第1楼2008/07/04

    因为HF易和硅及其氧化物反应,生成氟硅酸.操作时要注意安全,戴好个人防护用品,在通风橱中进行.

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  • 懒懒

    第2楼2008/07/05

    当然没有更好的替代品。HF和SI反映生成氟硅酸会分解成4氟化硅,是气体,不会有残留。操作时注意保护没有问题的。

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  • zouhua1210

    第3楼2008/07/06

    我查了一些资料说,HF酸可以和硅及其硅的氧化物反应从而可清洗硅片的表面。我用HF试着清洗了一下,发现HF洗了以后镜面一般的硅片变得不再光滑了,看起来好像黏附了许多杂质一样。为了看到底是不是杂质,用了很多方法清洗,最终还在。那肯定是表面被破坏了

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