扫描电镜（SEM/EDS）
prodigy38
第1楼2008/10/07
请您联系一下厂家工程师，010-65171088，这里解决问题会很慢
春天的桃子
第2楼2008/10/09
再慢也得等的
奔跑的蜗牛
第3楼2008/10/10
在样品台控制界面把锁打开，如果还不好用，做样品台HOME，还不行，打电话求助。
第4楼2008/10/11
看一下各轴的位置， 如果有某个轴走到了极限（一般X或Y）的话，手动把它向0 的方向拧N圈儿（用手动旋钮）， 然后重起机器+电脑， 试试看报警如果是TOUCHALARM 的话， 把样品托拧下来， 看看样品台的螺孔里是否有脏东西， 可以吹一吹（当心别对中EDS）。。。
phoenixprince
第5楼2008/12/24
楼上正解，我当年就是这么解决的。
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