分辨率与表面结构

个人理解：
扫描电镜的分辨率取决于下面的两个因素：
1、电子束束斑的大小；
2、样品上激发出二次电子的范围。
前一个因素是由仪器的性能决定的。而后一个因素主要取决于加速电压和样品。重元素样品电子束扩散的范围和深度都小，分辨率较高，所以做分辨率实验都用金样品。对于普通金属和其它轻元素样品，分辨率怎么也达不到那么高，就是因为电子束扩散范围较大。要提高轻元素样品的分辨率，就必须降低加速电压，减小电子束扩散范围。对于同一样品，加速电压越高，电子束渗透深度越深，所看到的图像就不是表面的形貌，而是有一定深度的样品信息的综合，掩盖了一些表面的形貌特征。如果采用较低的加速电压，电子束渗透深度较小，所看到的形貌就接近于表面形貌了。这就是场发射扫描电镜所具有的良好的低加速电压性能的优势。

[quote]原文由 zemb 发表:“对于同一样品，加速电压越高，电子束渗透深度越深，所看到的图像就不是表面的形貌，而是有一定深度的样品信息的综合，掩盖了一些表面的形貌特征。”


加速电压增大，电子束渗透深度加深，激发的二次电子数明显减少，观察到的图象中大多是采集的背散射电子信息，所以表面结构变的不清楚，对吗？

反了吧？或者都增大