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【资料】熊猫整理－化学试剂中的电子级

  • 熊猫宝宝
    2008/08/15
    • 私聊

分析化学

  • 电子化学试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级。

    UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准.

    UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准

    EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺
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    +关注 私聊

  • 平凡人

    第1楼2008/08/15

    资料不错,谢谢分享.

0
    +关注 私聊

  • 63780182

    第2楼2008/10/19

    谢谢分享.记下了

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