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【求助】四氟化硅气体的分析

jxfgh

2008/10/10

其他仪器综合讨论

我想分析四氟化硅气体，看有没有合适的分析方案，及其所要用到的仪器，请高手赐教，信箱：jxfgh@sina.com，电话13949653048

四氟化硅气体中还要分析其中的杂质的含量，如：氧气、氮气、二氧化碳、氯化氢等具体指标如下：

项目指标

纯度（SiF4），％重量比 ≥98

惰性气体，％重量比 ≤1

二氧化碳（CO2），％重量比 ≤0.2

二氧化硫（SO2），％重量比 ≤0.05

盐酸（HCl），％重量比 ≤ 1.5

氢氟酸（HF），％重量比 ≤0.5

水份（H2O），％重量比 ≤0.01

氧（O2），PPm 重量比 ≤50

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