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【求助】日立S3600电镜使用过程中无法给电子枪加电压

  • dreamer1895
    2008/11/13
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 单位的日立S3600电镜开启后只要一按加电压,真空度突然下降,电子枪无法正常加压,数分钟后真空度恢复正常,但电子枪还是不能工作,询问日立工程师后更换了新的灯丝,清理了电子枪腔体仍然无法解决。不知是什麽问题,请教各位前辈,先谢谢了!
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  • dreamer1895

    第1楼2008/11/13

    在线等待中。

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  • 春天的桃子

    第2楼2008/11/14

    应该是电子枪受污染了.

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  • forzamarco

    第3楼2008/11/20

    不知道楼主的问题解决了吗?有没有想过是Post HV电路板的问题?你有没有尝试在signal setup中将Post HV先不勾选,看高压是否能加上?或者将真空模式改为N-SEM,采用BSE信号模式然后再加高压?如果这两种情况都能加高压,那只能说你"中大奖"了,Post HV 电路板故障.

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  • dreamer1895

    第4楼2008/11/21

    先感谢各位大侠帮助。
    昨日工程师来维修,BSE模式可用,能谱不受影响,看来forzamarco说中了,中大奖了。不过不是很明白,在此之前有一段时间未用机器,而且工程师说日立的电镜线路板不易损坏。难道只有换件了?

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  • joeyw

    第5楼2008/12/15

    我用的S-3000去年也是这样子,工程师来说是电路板坏了。

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