金相显微镜
大笨狗
第1楼2008/12/17
三者之间所应用的范围不一样。一般来说，AFM只能进行微区的形貌表征，轮廓仪大部分是接触式的，较宏观，而LSCM正好填补了他们之间的空白区域。
alizs
第2楼2008/12/19
嗯，谢谢您的意见。另外，轮廓仪的测试结果是二维的，而confocal的测试结果是三维的。所以如果要测试整个面上的粗糙度，轮廓仪是不行的，而confocal则可以。（想比较而言，粗糙度仪也可以测量面粗糙度，但是测量范围太大，最小都有3cm左右，所以不适合微细加工的样品）
午禾科技
第3楼2014/01/24
精度，分辨率，都是难以比拟的
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