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【求助】请教有关“扫描”的问题?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我在一本书上看到这样的叙述:样品上被扫描区的宽度既决定于电子束的扫描角,也决定于样品离末光阑的位置,即工作距离。扫描电流大则扫描角大,其放大倍率低。扫描角一定时,工作距离越大,放大倍率越低。
    我的问题是:1.为什么扫描电流大则扫描角大?
    2.为什么扫描角一定时,工作距离越大,放大倍率越低?扫描角已经一定了,样品上的扫描面积还会变吗?放大倍率还会变吗?是不是我把扫描角的概念弄错了?
    3.加速电压,电流,电子束直径,他们之间有什么关系?我认为的是加速电压大不一定电流强,电流强电子束直径就大,这样对吗?
    谁能帮我弄清楚,最好能说的够详细。因为我这个人比较笨,呵呵!
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  • fengyonghe

    第1楼2008/12/21

    1.为什么扫描电流大则扫描角大?通过扫描线圈的电流是锯齿波。还是上面的道理,较大的扫描线圈电流,产生较强的偏转磁场,所以,扫描电流大则扫描角大。
    2.为什么扫描角一定时,工作距离越大,放大倍率越低?这个问题你写一个大写的A,你把横线上下移动时横线的长度是不是变化了。所以。扫描角一定时,工作距离越大,扫描范围越大,放大倍率越低。这与光学显微镜类似,倍率越低,视场直径越大。
    3.加速电压,电流,电子束直径,他们之间有什么关系?加速电压,束流,束斑三者之间是曲线关系。若加速电压不变,束流大则束斑大。如束流不变,加速电压高则束斑小。若束斑不变,加速电压高则束流大。

    cndy_fen 发表:我在一本书上看到这样的叙述:样品上被扫描区的宽度既决定于电子束的扫描角,也决定于样品离末光阑的位置,即工作距离。扫描电流大则扫描角大,其放大倍率低。扫描角一定时,工作距离越大,放大倍率越低。
    我的问题是:1.为什么扫描电流大则扫描角大?
    2.为什么扫描角一定时,工作距离越大,放大倍率越低?扫描角已经一定了,样品上的扫描面积还会变吗?放大倍率还会变吗?是不是我把扫描角的概念弄错了?
    3.加速电压,电流,电子束直径,他们之间有什么关系?我认为的是加速电压大不一定电流强,电流强电子束直径就大,这样对吗?
    谁能帮我弄清楚,最好能说的够详细。因为我这个人比较笨,呵呵!

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  • cndy_fen

    第2楼2008/12/25

    谢谢你耐心的解释,我真的是把扫描角的概念弄错了,再次感谢你!

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