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秀下----离子研磨机

  • forzamarco
    2009/01/20
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 最近刚安装了一台用离子束研磨样品的横截面的设备,是Hitachi E-3500.样品做好后可以直接放入SEM观察,即使非导电性的样品,也不会观察到Charge-up现象.让各位板油了解一下.好久没发帖了,赚点人气.





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  • 社区=冬季=

    第1楼2009/01/20

    什么是Charge-up现象?

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  • 去年冬天

    第2楼2009/01/20

    看样子价格肯定很贵 吧

    我们这里的研磨机还是最古老的那种

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  • 无名

    第3楼2009/01/20

    在楼主的另外帖子中出现:

    一般我们把charge up充为放电,指电子束打到样品上由于样品导电性不是很好,不能把电子完全导走,感觉就像入射电子束经过样品碰撞发生散射一样.样品观察时影像会有发亮的现象,有时还会漂移

    lylsg555 发表:什么是Charge-up现象?

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    第4楼2009/01/20

    很有用的东西嘛,先支持一下。能简单介绍一下原理吗

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  • forzamarco

    第5楼2009/01/21

    发射源跟REXIN大侠之前说的离子显微镜有点相似,用氩气在最高4kV的电压下电离,电离产生的离子束在最高6kV的加速电压下加速撞击到样品上,离子束并没有经过镜片的收束,到达样品上的束径会在150um左右,用此高能量的离子束,再加上样品在样品室里的摆动,就可以将样品上击打出一道沟槽.每次研磨的时候,将样品欲观察的区域放置在离子束击打的区域(在光学显微镜下调整位置),经过几个小时的离子研磨,就可以观察到第一张图片的效果了.

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    第6楼2009/01/21

    如果要能应用于EBSD的高标准制样抛光的话,那就是大家的福音了,可能还会成为今后SEM制样设备的标配呢。

    forzamarco 发表:发射源跟REXIN大侠之前说的离子显微镜有点相似,用氩气在最高4kV的电压下电离,电离产生的离子束在最高6kV的加速电压下加速撞击到样品上,离子束并没有经过镜片的收束,到达样品上的束径会在150um左右,用此高能量的离子束,再加上样品在样品室里的摆动,就可以将样品上击打出一道沟槽.每次研磨的时候,将样品欲观察的区域放置在离子束击打的区域(在光学显微镜下调整位置),经过几个小时的离子研磨,就可以观察到第一张图片的效果了.

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  • forzamarco

    第7楼2009/01/21

    坦白说,我还没做过EBSD,不晓得做出来的效果怎样.第一张图片是客户的样品拍的,样品的内部有一根金线,这幅图是放大观察的表面晶格状况.对于需要做样品横截面抛光的客户还是比较有吸引力的.

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    第8楼2009/01/21

    EBSD样本需要做电解/电化学表面抛光才会有好效果,不过看您上传的照片效果,好像已经达到了ebsd所要的所谓减轻样本表面应力的程度了,可以在这些用户中推广一下。个人浅见。

    forzamarco 发表:坦白说,我还没做过EBSD,不晓得做出来的效果怎样.第一张图片是客户的样品拍的,样品的内部有一根金线,这幅图是放大观察的表面晶格状况.对于需要做样品横截面抛光的客户还是比较有吸引力的.

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  • 春天的桃子

    第9楼2009/01/22

    我们现在还没有配,计划在今年要买了

    forzamarco 发表:发射源跟REXIN大侠之前说的离子显微镜有点相似,用氩气在最高4kV的电压下电离,电离产生的离子束在最高6kV的加速电压下加速撞击到样品上,离子束并没有经过镜片的收束,到达样品上的束径会在150um左右,用此高能量的离子束,再加上样品在样品室里的摆动,就可以将样品上击打出一道沟槽.每次研磨的时候,将样品欲观察的区域放置在离子束击打的区域(在光学显微镜下调整位置),经过几个小时的离子研磨,就可以观察到第一张图片的效果了.

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  • altt

    第10楼2009/02/02

    看了你的照片,感觉不错,想了解一下样品是怎么固定在底座上的,是用导电胶吗?另外如果样品导电性不好,为什么剖面没有charg 现象呢?

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