请问：扫描电镜有可能看到样品室的情况吗？

用 low kv 试试

当时试了，但忘记是否可以了。
我主要想知道如果导电性不好，那么就会出现电子束的偏移甚至大角度偏移？

我觉得是样品导电性不好，聚集在材料上的电子对电子束产生排斥作用

嗯，高度负电荷聚集的确可能，没想到有如此大的效应。
ps：您是做半导体的啊，我从来没做过大块样品的减薄，如果以后有机会，还要多向您请教了

样品导电不好或样品粘接不好引致样品不接地都可引起电荷积累，
不太理解看到探头？有图片吗？

图片原来存了，现在过了四五年，都不知道是不是还在了。不理解就是电子束本来朝下，怎么会偏转到侧面的探头上去。现在Tom_Dai大侠说的倒是比较可信。

SHXIE朋友說的這兩個現象我都見過。
1﹐快掃描時間時圖像移動﹐慢掃描時間時出現鋸齒狀圖像。
原因是因為電荷的積累和釋放﹐即充電效應。
圖像移動是由於檢測器觀察到了電荷放電的時刻﹐電荷放電時就像水在流動。
如果當時樣本有傾斜的話﹐圖像移動的會更明顯。
樣本本身噴金之後為什么還會有充電放電呢。
原因是樣本雖然自己導電了﹐但是由於和樣本臺連接不好﹐始終無法將電荷及時釋放掉﹐在電荷積累到極端程度後﹐電荷會跳躍到接地﹐強行放電。

2﹐圖像能看到樣本室內部的結構﹐叫鏡面效應。
由於樣本充電嚴重﹐樣本本身發光發熱﹐成為一個發射源﹐還有樣本接地差﹐將不能再吸收的入射電子反彈到樣本室內部﹐所以檢測器探頭在這種情況下成為了樣本﹐探頭產生的電子被自己檢測到了﹐就跟照鏡子一樣﹐所以叫鏡面效應。

不知道老说感谢是不是太客套了，呵呵。
镜面效应太贴切了，我当时觉得就是形成了镜面，可如果按照这个解释，那么样本是不是就要有较高的温度呢？如果这样，有些样本会不会遭到破坏呢？我当时拿出那个样品的时候并没有发现有任何异常啊？

我想因為你噴金在樣本上﹐就保護了樣本。
電荷是堆積在了樣本和樣本台連接不好的位置。