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【求助】如何测定黄铜上依次镀Ni、Sn的厚度

agzxp

2007/09/05

扫描电镜（SEM/EDS）

我现在接到一个样品，就是在黄铜表面上先镀上一层镍，约3－5微米厚，然后再镀上一层锡，约8－10微米。我截了一个截面镶嵌，抛光后放在SEM下观察，外层的锡和镍的图像反差较大，能测量锡的厚度。但是镍和基体黄铜的图像反差不明显，无法分辨界限，也就不能测量其厚度。我尝试用了SE、BSE及二者的混合像，均不行。SEM：Quanta 200 ESEM。

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adu110

第1楼2007/09/05

楼主，试试看以SPS＋硫酸，或SPS＋HCL，来微蚀你的切片，这样，Cu layer与Ni layer就有比较明显的分界了。备注：SPS 100g/L；硫酸约20ml/L;
或者直接用双氧水来蚀刻铜层。

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agzxp

第2楼2007/09/06

adu110：由于我是搞SEM的很少接触试剂，请问SPS是什么试剂？谢谢！

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粒度销售

第5楼2007/09/06

你尝试用EDX或者其他的测量膜厚的仪器看看吧.应该精度还可以.

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adu110

第6楼2007/09/06

不好意思，SPS是过硫酸钠，业界内的简称。

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fxm4319

第7楼2007/09/06

建议用台阶仪，可以测到几个纳米的厚度，呵呵那东西挺好使

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jcha_1984

第8楼2007/09/06

应该有其他方法吧

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jzhx68

第9楼2007/09/10

用背散射应该没有问题

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jzhx68

第10楼2007/09/10

BSE

Cu面分布

Ni面分布
agzxp 发表:我现在接到一个样品，就是在黄铜表面上先镀上一层镍，约3－5微米厚，然后再镀上一层锡，约8－10微米。我截了一个截面镶嵌，抛光后放在SEM下观察，外层的锡和镍的图像反差较大，能测量锡的厚度。但是镍和基体黄铜的图像反差不明显，无法分辨界限，也就不能测量其厚度。我尝试用了SE、BSE及二者的混合像，均不行。SEM：Quanta 200 ESEM。

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jzhx68

第11楼2007/09/10

BSE

Cu面分布

Ni面分布
agzxp 发表:我现在接到一个样品，就是在黄铜表面上先镀上一层镍，约3－5微米厚，然后再镀上一层锡，约8－10微米。我截了一个截面镶嵌，抛光后放在SEM下观察，外层的锡和镍的图像反差较大，能测量锡的厚度。但是镍和基体黄铜的图像反差不明显，无法分辨界限，也就不能测量其厚度。我尝试用了SE、BSE及二者的混合像，均不行。SEM：Quanta 200 ESEM。

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jzhx68

第12楼2007/09/10

BSE

agzxp 发表:我现在接到一个样品，就是在黄铜表面上先镀上一层镍，约3－5微米厚，然后再镀上一层锡，约8－10微米。我截了一个截面镶嵌，抛光后放在SEM下观察，外层的锡和镍的图像反差较大，能测量锡的厚度。但是镍和基体黄铜的图像反差不明显，无法分辨界限，也就不能测量其厚度。我尝试用了SE、BSE及二者的混合像，均不行。SEM：Quanta 200 ESEM。

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