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【求助】日本电子的JSM6390LV,在VIEW状态图像不清晰!

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 如题,无图。。。
    症状:在VIEW状态下,不清晰,圆形视野的圆形是模糊的,就像焦距没对好一样。

    过程:小弟新手,之前在VIEW状态下还是很清晰的。在尝试在高倍数下观察一个粉末样品后,返回VIEW状态就不清晰了。中间调过光阑、使用过自动聚焦、调过像散。

    CALL工程师,描述症状后,工程师的意思是光阑歪了,让在15000倍下调可动光阑摇摆器。自己尝试调了下。。。怎么调也不行,VIEW还是不清晰。

    求救各位电镜高手,光阑歪了调光阑,这个有什么心得诀窍没有?
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  • r51755

    第1楼2009/03/19

    在VIEW模式下图象模糊,既然已经调整了物镜光阑后仍没有变化,极有可能使物镜极靴下表面的低真空用的压差光阑污染,在VIEW时放大倍率最小时电子束受到干扰,可以将样品室放气后清洁压差光阑。也有可能是物镜下的BEI探测器信号线的位置不好,请确认上述位置,如有疑问可以发E-mail给我(r51755@yahoo.com.cn)

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  • huangtao0307

    第2楼2009/03/26

    感覺是物鏡光欄有點偏

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  • d4100

    第3楼2009/03/26

    工程师也是这个意思

    但是我自己调了下光阑

    就是物镜光阑X和Y方向,附件内红线部分(图是安装时候的图,安装好后,桌子是挨着电镜的,图里面)

    还是不清晰,不知道哪出了问题


    huangtao0307 发表:感覺是物鏡光欄有點偏

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  • d4100

    第5楼2009/03/26

    实验室网速太慢了,图上不上来。

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  • chasedream

    第6楼2011/11/08

    物镜光阑在哪个位置?

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  • maxin2009

    第7楼2011/11/10

    第一,用慢扫看看BEI图像 清不清楚,如果BEI图像清楚,而二次电子不清楚, 请联系厂商。
    第二,将物镜光阑调至0号,0号在1号下边,方法如同将物镜光阑由2号调至1号,只不过1号调0号時需要多拉点1距离。0号光阑就是将物镜光阑撤出,如果这時有图像了,就是物镜光阑歪了,
    第三,物镜光阑歪了,按理说VIEW状态下,也就是低倍数下应该是看不出来的,如果物镜光阑歪得厉害,图像有一部分应该是黑的,而且象散消不掉
    第四,“在尝试在高倍数下观察一个粉末样品后,返回VIEW状态就不清晰了。中间调过光阑、使用过自动聚焦、调过像散”----不会是粉末没粘牢吧。。。吸进镜筒里了,挡电子束了?如果SEI,BEI都不清楚,就要往电子束那考虑了,如果0号光阑下仍然不清楚,请看一下灯丝电流LC大小,反正能考虑的都要考虑到呗

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  • fengyonghe

    第8楼2011/11/12

    你在高倍下观察是清楚的,回到VIEW状态不清楚,这时应该将束斑调大一些就好了。因为VIEW状态扫描范围变大,还用那么小的束斑实际两个像元点之间是不连续的。

    d4100(d4100) 发表:如题,无图。。。
    症状:在VIEW状态下,不清晰,圆形视野的圆形是模糊的,就像焦距没对好一样。

    过程:小弟新手,之前在VIEW状态下还是很清晰的。在尝试在高倍数下观察一个粉末样品后,返回VIEW状态就不清晰了。中间调过光阑、使用过自动聚焦、调过像散。

    CALL工程师,描述症状后,工程师的意思是光阑歪了,让在15000倍下调可动光阑摇摆器。自己尝试调了下。。。怎么调也不行,VIEW还是不清晰。

    求救各位电镜高手,光阑歪了调光阑,这个有什么心得诀窍没有?

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