maxin2009
第7楼2011/11/10
第一,用慢扫看看BEI图像 清不清楚,如果BEI图像清楚,而二次电子不清楚, 请联系厂商。
第二,将物镜光阑调至0号,0号在1号下边,方法如同将物镜光阑由2号调至1号,只不过1号调0号時需要多拉点1距离。0号光阑就是将物镜光阑撤出,如果这時有图像了,就是物镜光阑歪了,
第三,物镜光阑歪了,按理说VIEW状态下,也就是低倍数下应该是看不出来的,如果物镜光阑歪得厉害,图像有一部分应该是黑的,而且象散消不掉
第四,“在尝试在高倍数下观察一个粉末样品后,返回VIEW状态就不清晰了。中间调过光阑、使用过自动聚焦、调过像散”----不会是粉末没粘牢吧。。。吸进镜筒里了,挡电子束了?如果SEI,BEI都不清楚,就要往电子束那考虑了,如果0号光阑下仍然不清楚,请看一下灯丝电流LC大小,反正能考虑的都要考虑到呗
fengyonghe
第8楼2011/11/12
你在高倍下观察是清楚的,回到VIEW状态不清楚,这时应该将束斑调大一些就好了。因为VIEW状态扫描范围变大,还用那么小的束斑实际两个像元点之间是不连续的。