几个资料及扫描电子显微镜的安装与验收

2．总体安装与调试、

包括开箱、搬运、安装主机及配件。连接水、电、气等各种管道及电缆。检查地线连接及三相供电的相序，核实电气接头编号等等。第一次施加高压前，要充分抽真空。
调试工作主要由厂方技术人员进行，用户技术人员协助，并保证水电及必要仪器与材料的供应。

3．枝术指标的验收

整机调试是在仪器性能已经达到合同规定的指标后进行。若发现有故障，或主要技术指标未达到，则暂缓。验收应由甲乙双方技术负责人按合同规定指标逐项进行(见本文第二、三部分)。若对验收结果有意见分歧，则应在备忘录中说明，对附属设备也应验收．零配件应清点核实。

4．操作与维修枝术培训

验收合格后转入操作技术与维修保养培训，要求在3—7天内用户技术人员掌握下列内容。

操作技术方面包括：

(1)整机结构，工作原理及性能特点；
(2)真空系统的操作程序；
(3)试样的更换，加热、冷冻、拉力等特殊样台的操作方法；
(4)电子光学系统工作原理，镜筒的机械对中及电磁对中方法；
(5)合理选择仪器的技术参数及功能，正确调焦及消除象散等；
(6)各种自动功能键的作用及操作方法，如自动亮度调节(ABC)， 自动聚焦(AFC)，动态消象散，分屏，电子计算机功能键等等；
(7)相机的安装及拍照条件的选择；
(8)配套设备的操作，如真空镀膜仪，离子溅射等。

日常维修方面包括：

(1)灯丝的更换与调节；
(2)物镜可动光栏的清洗；
(3)镜筒的装、拆及清洗；
(4)聚光镜光栏的清洗；
(5)二次电子接收萤光屏的更换；
(6)机械真空泵的换油与清洗。

5．会签验收协议书

一般包括三个内容：安装调试情况概述；验收结果说明(包括反映性能指标的照片及误差计算)；遗留问题备忘录等。保修期从协议书签字日开始计算。若由于仪器质量问题而不能按时投入运转，或在保修期内，厂方未及时来修理，造成时间上的损失，应要求厂方赔偿。

一、    验收项目及合格标准

扫描电子显微镜种类、规格繁多，技术指标要求不一，验收时应根据具体机型确定。这是一般中档扫描电镜的主要技术指标，对于高档的特别是带能谱或波谱的电子探针，技术指标要求较高，验收项目也较多。

二、    验收方法及误差计算

就主要指标验收方法介绍如下：

1.    放大倍数校正

用标准网格试样(每格25x 25微米)，放大1000倍，用透明胶尺测量C．R．T．(萤光屏)上每格图象的长与宽；调节镜筒扫描的“幅度调节”，使每格长与宽为25毫米，若有微米标尺显示，则应使该标尺长度L等于微米显示值与倍数显示值的乘积。例如显示值为30微米，放大倍数为x1000，则L=30微米×1000＝30毫米。调好后分别拍摄×100， ×500， ×1000， ×2000等四张网格照片(注意洗相放大时要使L准确等于30毫米)，测量并按下式计算放大倍数误差：
(X-X。)／X。×100％，(y-y。)／y。×100％
式中x。、y。为网格试样的标准值；x与y为照片上的实测值。例如x100照片，取中心部分的4小格，其标准值为x。＝y。= 25微米xl00x 4＝10毫米。若测得相同格数的数值为x＝l0．5毫米，y＝9．8毫米，则误差：
x: (x-x。)／x。＝(10．5—10)／10×100% = 5％
y：(y—y。)／y。＝(9．8—10)／10×100％ ＝-2％
同理可计算×5D0，×1000，×2000的放大误差。

2．C．R．T．的S形失真计算

由于C．R．T．屏幕近似乎面，而电子束以扇形张角进行扫描，因此造成屏幕四周比中心部分有较大的图象放大，即所谓S形失真。从表L可以看到其误差可高达25％。为了减少照片误差，有些电镜在照相时仅取其中心部分，删去周围失真部分，如国产TSM—1型扫描电镜。具体测校方法如下：
采用放大倍数校正时所拍摄的x100标准网格照片，如图1所示分别测出照片中心部分与四角部分的4个小方格的总长与宽。



按下式计算失真度：
|X。-Xi|／X×100％，
|y。-yi|／y。×100％
x。，y。为中心部分实测值，xi，yi为四角部分相等格数实测值(i＝1，2，3，4)：例如： X。＝l 0．5，y。＝9．8； Xi=11．8，yi＝10．5;则计算误差分别为12．4％和7．1％。

3．鼓形畸变的测量

由于扫描偏转线圈制作工艺等原因产生如图2所示的鼓形畸变。图象周围中间部分往里凹。一般要求畸变量<=3％。验收时仍然采用放大倍数校准时所拍摄的x100的标准网格照片。



按图示所示分别测出照片中心部分及四周的半边长，然后按下式计算畸变量

|Xa—Xi|／Xa×100％，
|Ya—Yi|／Ya×100％
i＝1， 2， 3， 4

例如测得 Xa＝44．8毫米 , Ya＝57．0毫米 ;
Xi＝44．5毫米, Yi= 57．3毫米
则上式计算畸变量为：0．7％和0．5％。

同理可计算路X2，Y2；X3，Y3,X4,Y4等边的误差。

4．试样台精确度验测

试样台精度包括位移线性度及位移重复性两部分。 (1)位移线性度 位移线性度验测又称为蛇形失真，即当调节试样台x(或y)平移时，图象应严格沿x(或y)轴作直线平移而不发生y方向的上下偏离。验收时首先取x1000图象，调偏转线图位置使得试样沿x轴平移时，C．R．T．上的图象基本上沿水平方向移动，这一步称为坐标校正。然后选取一个最简单的视场，最好为一个只有约5毫米大小的“脏物”图象，以它为标志，调试样台x轴位移，从左到右在同一底片上每隔约20毫米拍照记录一次。结果如图3所示。测量其蛇形失真不小于5毫米(即试样台线性误差小于5微米)。同理，可验测y轴平移线性误差。

(1)位移的重复性验测

仍采用线性误差验测时的“脏物”作参考标志，首先将其调到C．R．T的中心并第一次拍照。然后非常细心调节x轴平移(此时不看C．R．T.注意力集中于调节精度)，先向前平移250微米，再后退1000微米，再前进750微米，使位移复位，并在同一底片上进行第二次拍照，两次拍得的“脏物”图象应重合一起，其不重合误差一般要求小了5微米(1000时，照片上为5毫米)，如图4。



(2)同理可对y轴平移作上述验测。

5．高倍“图象平移”范围的测定

由于试样合平移调节精度误差小于5微米，因此，小于此值的平移就无法精确进行，特别是万倍以上的图象，企图通过平移试样台(平移量小于y微米)来精确移动图象是不可能的。为了解决这个问题，通常采用调节镜筒扫描锯齿波直流电平的方法，可以实现高倍图象的微小平移，甚至可以小到相当于试样平移0．1微米以下。这是机械调节无法达到的。 “图象平移”的最大范围要求不小于或相当于20微米的试样平移。验收时，首先将“图象平移”旋扭处于中点，然后将上述的“赃物”视场放大1000倍，并调到C．R．T．中心，第一次拍照。再利用“图象平移”调节，使“赃物”图象分别向左、右、上、下四个方向作最大位移时，在同一底片拍成照片，得到如图5所示的图形。再测量AB及CD距离，求得最大平移范围＜1／2AB)不小于±20毫米（x100照片）。

获益匪浅阿