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【讨论】ZEISS SEM 安装时地线及磁场问题讨论

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 对于ZEISS Evo系列SEM,安装时碰到下述问题：

    １.接地要良好，须地线电阻小于0.25 欧姆，且单独接于M8地桩。实际条件为实验室所有设备共用一小于0.5 欧姆的地线，每台设备地线电阻小于0.5 欧姆，不知此条件对SEM可否适用？

    2. 电磁干扰：因场地受限，SEM, XRD 及 XRF设备共用一室，那多SEM须距离 XRD，XRF多远才不受其电磁干扰？

    谢谢解答．
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    +关注 私聊

  • 朝阳

    第1楼2009/04/02

    底线绝对满足要求了，一般扫描电镜要求底线也就是小于10欧就哦了。
    磁场你具体叫工程师拿磁场仪去测一下就可以了，一般厂家都有专门测磁场的仪器。

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    +关注 私聊

  • kevin sun

    第2楼2009/04/06

    电镜这种大型仪器最好单独接地。

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