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请问聚合物做SEM用不用先喷金或碳?想得到很高的分辨率,10纳米左右吧!

  • 六脉神剑
    2006/08/18
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请问聚合物做SEM用不用先喷金或碳?想得到很高的分辨率,10纳米左右吧!
    请各位大侠指教!
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  • 小石头

    第1楼2006/08/18

    POLYMER不coating 是不行的,
    镀金还是镀碳是考虑到放大倍数
    如果观察到近百万倍,coating的金粒都看到了
    镀碳则不会又这样的表面形貌改变

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  • 小石头

    第2楼2006/08/18

    Hitachi生产的Super SEM准备样品时就是镀碳的
    从来不镀金

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  • 扫描电镜分析

    第3楼2006/08/18

    1、聚合物是颗粒团簇还是线状?既然在10纳米左右,要看清估计要在50K或更高的倍率。这时电子束斑通常温度较高,有的聚合物可能会很快因温度较高而变形。
    2、如样品是颗粒团簇,喷金后在样品表面形成的金颗粒通常在5纳米左右(我们的喷金设备是这样的效果),可能要影响样品原来形貌观测,因为它们大小相近。
    建议测试前聚合物样品一定要烘干处理,喷金别喷厚了,测试倍率不必太高。

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  • 小石头

    第4楼2006/08/19

    请问为何50K倍的时候电子束温度较高?

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  • 六脉神剑

    第5楼2006/08/23

    电子束有加热的功能,比如微电子工业中有时用到的电子束蒸发镀膜方法,就是利用电子束加热的作用.

    julibo 发表:请问为何50K倍的时候电子束温度较高?

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  • 六脉神剑

    第6楼2006/08/23

    各位的讨论好象没有给出好的解决办法,那么大家知道环境扫描电镜的分辨率能够满足这些要求吗?

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  • xlbmcr

    第7楼2006/08/28

    要求10纳米分辨率,还是有机物,不喷C,Au,无法作到

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  • 六脉神剑

    第8楼2006/08/29

    不知道你认为环扫能不能做到?
    环境扫描我还没做

    xlbmcr 发表:要求10纳米分辨率,还是有机物,不喷C,Au,无法作到

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  • 六脉神剑

    第9楼2006/09/03

    这个问题很着急,请大家帮帮忙,有经验的出主意,有资源的出资源。
    谢过大家了!

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  • rema

    第10楼2006/09/04

    环境扫描做这么高的分辨率,可够戗!

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