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【求助】<<碱性蚀刻液之原理及维护与管理>>谁有这个资料?

电化学综合讨论

  • <<碱性蚀刻液之原理及维护与管理>>谁有这个资料?
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  • ghostermen

    第1楼2009/04/15

    我以前做过1年 资料是文字版的,你控制好比重(27上下),PH值(8左右),氯离子浓度和蚀刻机的压力和速度(过蚀加速度减压力,蚀不尽减速度加压力),问题基本能解决。

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