扫描电镜（SEM/EDS）
第1楼2005/07/07
这个是电子探针？还是说电子束流很低的时候也能达到高分辨？
第2楼2005/07/07
我也在怀疑中，我这个是场发射的扫描电镜，不是扫描探针啊意思暂且 不管他，nA是什么单位啊？我只知道nm和A
第3楼2005/07/07
nA就是纳安吧，极小的电流值了。应该是1e－9A
第4楼2005/07/07
是电流的单位吗？这电流有多小啊所谓的probe current是指探测电流明白了，谢谢斑竹提醒
第5楼2005/07/07
就是说束流很低的情况下也能有很高的分辨率吗？不过场发射枪总归比较棒了
第6楼2005/07/07
probe current不是指束流吧，竖流应该是beam current
第7楼2005/07/07
我也这么想啊，可楼主说不是探针啊。
第8楼2005/07/07
保持高分辨率的最大探针电流为2纳安（10的负9次方安）：）
第9楼2005/07/07
此探针非探针仪，应该是制电子束经透镜最后形成的探针
第10楼2005/07/07
SEM CONTROL面版中GUN除了电压、电流外还有BEAM CURRENT=30μm I PROBE=50PASPOT SIZE=300（没有单位，并且和I PROBE是关联的，一起变大，一起缩小）我一般I PROBE=30~50PA，据说分辨率大，图象清晰，做能谱时设为150~250PA调节计数率和死时间DEADTIMEBEAM CURRENT和I PROBE有什么区别acquisition counter 和input counter前面的是计数率
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