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SEM束斑越来越大才能拍清楚照片

扫描电镜(SEM/EDS)

  • SEM是JEOL的JSM-6510,今年三月份安装的,刚开始束斑(spot size)是30就挺清楚了,可是后来慢慢的不清楚了,把束斑调大就清楚了,现在束斑都调到60了才能拍清楚照片,这是为什么呢?请教大家!
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  • 小M

    第1楼2012/08/25

    应助达人

    这个值越大,束斑直径越小?

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  • bairuizheng

    第2楼2012/08/25

    我也想知道为什么束斑会变化?

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  • 韩国COXEM

    第3楼2012/08/25

    您说的是信噪比!!
    说明你的电子枪亮度在降低,需要找电子枪亮度原因!

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  • 韩国COXEM

    第4楼2012/08/25

    电子枪的发射束流大小,是否变化?
    看电子枪对中是否最佳。
    看象散是否增大了。
    总之这款SEM使用油扩散泵,需要精心维护!!

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  • 驰奔

    第5楼2012/08/25

    楼上兄弟跟着我,进步很快啊!!跟我抢答啊!!

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  • fengyonghe

    第6楼2012/08/25

    这款电镜是钨灯丝的,如果你还没有换过灯丝那就先换灯丝再进行调整。一定要同时更换栅极帽。如果换过灯丝还调整不好那就怀疑镜筒污染了需要清洗。

    zml88cat(zml88cat) 发表:SEM是JEOL的JSM-6510,今年三月份安装的,刚开始束斑(spot size)是30就挺清楚了,可是后来慢慢的不清楚了,把束斑调大就清楚了,现在束斑都调到60了才能拍清楚照片,这是为什么呢?请教大家!

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  • zml88cat

    第7楼2012/08/26

    能否说清楚一些,专业性强的,我都不太懂,需要怎么维护呢?

    韩国COXEM(SH102573) 发表:电子枪的发射束流大小,是否变化?
    看电子枪对中是否最佳。
    看象散是否增大了。
    总之这款SEM使用油扩散泵,需要精心维护!!

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  • maxin2009

    第9楼2012/08/29

    1.换上ZnO标样,自己样品未知因素太多,二次电子产率,导电性,样品牢固程度都很难把握,就观察氧化锌标样。

    氧化锌标样在30KV SS30的条件下,看看是不是清晰,可以和从前的对比一下

    2.观察SEI和BEI图像,看看这两种图像是不是都有这种现象,如果都有,就要考虑光路的问题,如果只有一种图像有这种现象,就要考虑探头的问题。

    3.上个图吧,让大家帮你分析一下

    4.您是长江以北的地区的?

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  • asahi42

    第10楼2012/08/31

    哇靠~猛一看差点以为那位韩国酷塞目是驰奔大哥的马甲。。。
    看来驰奔大哥在培养专业人才方面很有一套,佩服~

    驰奔(srd2009) 发表:楼上兄弟跟着我,进步很快啊!!跟我抢答啊!!

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