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【讨论】XRF测量磷镍镀层厚度 问题

X射线衍射仪（XRD）

  • 本人使用日本精工仪器测量铁基材料上磷镍镀层与通过做切片用电子显微镜测量的结果相差0.5um,是通过纯镍标准片建立工作曲线的，只测定了镍的的厚度为2.5um,通过SME拍照厚度为3.1um，想请教我能用什么方法把这个磷镍镀层的尺寸测得与实际尺寸接近，如果用XRF测试其修正参数应怎样确认，谢谢！
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  • tkm0804061

    第1楼2009/07/14

    不知道您用的是精工的哪款膜厚仪？不过如果您要检测Ni/P镀层厚度的话，用纯Ni标片是无法准确定量的，建议向原厂购买Ni-P/Fe标片来做检量线。

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