hitttr
第1楼2009/08/11
一下子提这么多问题,学习很用心嘛。
关于你说的问题,大致如下:
目前的探针,根据材质来分,可以分为两类:
氮化硅的和硅的。
氮化硅针尖基本上都是接触模式的,这由其材料和制备工艺所决定的。
氮化硅针尖是用沉积的方法在硅基底上成型的。
正因为基底是硅,所以沉积的氮化硅不能太厚,太厚会的话会存在过大的应力。所以氮化硅针尖都是很软的,适合用于接触模式。
更普遍的则是硅针尖。因为电子工业的发展,硅的加工工艺的成熟,
使得制备硅针尖成为一种更便捷,更经济的方法。
硅针尖既有接触模式的,也有轻敲模式的。
观察其悬臂长而软的用于接触模式,短而硬的用于轻敲模式。
根据形状来分,可分为一字型的和三角形的。
一字型的由于其形状简单,制备工艺也相对简单,所以更为常见,
三角形的相对而言,
一方面由于反射激光的面积增加,
所以在某些情况下是有利于提高信噪比的(通常情况下没啥影响),
另一方面,由于其是由两个悬臂组合成一个三角形,
所以从力学角度而言,更加稳定,可以有效的消除侧向力对测量的影响。
最后关于在液体和空气中测量的问题:
对接触模式而言,针尖选择没啥区别,即都用同样的接触针尖就可以。
对轻敲模式而言,有少许的区别。
轻敲模式最重要的就是共振频率的选择,
在液体中和空气中的振动方式不一样,
通常情况下,在空气中时是由振源带动悬臂做受迫振动,
工作时的共振频率由悬臂的共振频率所决定。
在液体中是,是由振源带动整个液体池做受迫振动(MAC模式除外)。
工作时的共振频率由液体池系统所决定。
液体池的共振频率一般都在10Khz-50Khz(大致的数据,非确切的,没逐一核实过)范围以内。
所以在做液相轻敲模式的时候,需要选择共振频率与液体池共振频率相当的悬臂。
即选择标称的共振频率10-50Khz的针尖?
No!!!
因为在液体中的阻尼与在空气中不同,针尖在液体时,共振频率会下降。
而针尖的标称共振频率是指其在空气中的共振频率。
所以须选择共振频率大于液体池共振频率的针尖,小于
有些针尖厂商有专门的用于液体轻敲模式的针尖,
共振频率大致在50-80Khz。
一般情况下,其实也可以直接用普通轻敲针尖来做液相的。
最好选用共振频率较低的轻敲针尖。
普通轻敲针尖的共振频率大致在100-400Khz范围内。
有啥不妥的地方,请多指正哈。
chi76622
第4楼2009/08/18
CHYMAA
第6楼2014/08/14