【求助】(ok)硅晶圆片表面平整度和翘曲度的测量？

1、三坐标尺可以测，但精度不高，也很难为人所承认，因为硅片的翘曲度非常小。能让人认可的方法大多借助精密光学测量。
2、硅片中心厚度测量需要使用特别的千分尺，普通千分尺太小，你也可以自己将普通千分尺改造成能测中心厚度的千分尺。当然通用的精密厚度测量方法依然是光学方法--用光学延迟测量厚度。

btw:如果你对半导体还没有完全入门的话，再次提醒你仔细阅读我在这个帖子里的给你的参考书：
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20080904/1462889/

其中第一个问题请见2.9.3.2.2节；第二个问题详见2.5节。

版主，您好！请问您是从事半导体行业的吗？我还有很多问题想找您请教，不知道是否方便？我对半导体确实不大懂，谢谢！