【求助】99.9999%的硅烷气体需要购买什么样的仪器？

lidejun 2009/08/24

应该用减杂法测试，包括：1、微量氧测试仪；2、微量水测试仪；3、[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]-TCD，测试H、N；4、[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]-转化炉-FID测试CO、CO2、CH4和总烃；5、总氯用库伦仪。如果条件允许，质谱最最好的；但色谱选择范围一定注意，有些进口仪器检测高纯物质中的杂质也不一定可以的。

独钓寒江雪 2009/08/24

另外你的99.9999%的硅烷气体主要杂质是氢气，含量在50ppm似乎有点太高了，虽然氢气不作为主要杂质，但也不会这么高啊！这种纯度规格的最多5ppm，楼主是否写错了？

chengjingbao 2009/08/24

[quote]原文由 [B]hzhhqt[/B] 发表: 另外你的99.9999%的硅烷气体主要杂质是氢气，含量在50ppm似乎有点太高了，虽然氢气不作为主要杂质，但也不会这么高啊！这种纯度规格的最多5ppm，楼主是否写错了？[/quote] 六个9的气，杂质有50PPM有点不合理。 她的这个项目，需要多机、多品种完成啦。

mlb2003 2009/08/24

[quote]原文由 [B]lidejun[/B] 发表: 应该用减杂法测试，包括：1、微量氧测试仪；2、微量水测试仪；3、[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]-TCD，测试H、N；4、[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]-转化炉-FID测试CO、CO2、CH4和总烃；5、总氯用库伦仪。如果条件允许，质谱最最好的；但色谱选择范围一定注意，有些进口仪器检测高纯物质中的杂质也不一定可以的。[/quote] 感觉这个方法可以试一试！