【讨论】请问离子减薄时电压，电流的意义

电流的大小应该主要是对样品温度有影响。

同意楼上观点.束流大单位时间打到样品上的离子多,能量沉积的也就多,样品温度会高,如果用液氮,我想影响可不计

是不是电流大，表示电离出来的离子数目更多啊？

对

电流的大小对离子减薄的速度并没有很大的影响，它只是随电压的一个客观概念，真正影响减薄速度的是电压以及材料本身的特性。

电流应该反映的是离子的通量吧。
电流是可以调节的，不过是通过控制Ar气通入量实现的。这两天看说明书，说明上说的是在5KeV的时候，通过调节气体流量使电流值达到最大，然后再把通气量继续调大使电流值降为最大值的90%的时候，设为最佳的通气量和电流值。不过说明没说为什么要这么设，还有就是在长时间低电压工作时是不是要重新调一下气流。

电流大小肯定对减薄速度有影响。就考虑极端情况吧，电流为0的时候，电压再高，样品也减薄不下去。简单理解，电压决定一个炮弹能炸开多大的一个坑，电流决定同样时间和同样面积上能有多少个炮弹落下来。

电压表示的是动能；电流表示的是密度。温度还与减薄角度有极大关系。

KeV is more important, current may be not.

Use low KeV if possible. You may want to use normal KeV at very beginning, and use low KeV near the end of milling or use low KeV all the time.

Angle and beam alignment are more important than current.

For same material, low current on one (old) machine may mill the sample faster and better than that high current on another (new) 691.

Try same sample on two systems, you could answer your question yourself. Good luck.