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每周一问6:经常听到谈及最大分辨率和最大放大倍数,为什么不常听到最大景深和最小放大倍数呢?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我们在选购电镜时很关注分辨率, 很少有人提到电镜观测的最低倍数,以及最大角度和最大景深,实际上这个指标和高分辨率的重要性 不分伯仲,请问大家怎么看这个参数。
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  • 第2楼2005/08/23

    这个的确没有考虑过,是因为要看大个的样品而又不想切割吗?

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  • 第3楼2005/08/23

    是啊,萧文都很少来发言了

    renxin 发表:最近觉得 访问人数见少, 问一个 较趣味性的问题吧, 其实 也很有讲头哟。

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  • 第4楼2005/08/23

    这是大景深的主要用途之一 , 不过要配备大样本室 和 结实的样本台, 以及大功率的驱动马达等等。

    shxie 发表:这个的确没有考虑过,是因为要看大个的样品而又不想切割吗?

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  • 第5楼2005/08/23

    什么样的样品才用到大景深呢?半导体的晶元片?Philips原来XL系列是以样品室的大小为型号标记的,但30代表的是最大工作距离是30cm呢,还是x×y为30×30cm呢?
    打搅renxin一下,大家继续回答问题,呵呵。

    renxin 发表:这是大景深的主要用途之一 , 不过要配备大样本室 和 结实的样本台, 以及大功率的驱动马达等等。

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  • 第6楼2005/08/23

    大景深 可以看大块样品, 广角可以看 半导体芯片。
    XL20是 20升的样本室,XL30是 30升, 还有 XL40。
    新型的QUANTA有200,400和600型, 分别表示 50X50,100X100和150X150的样本台 移动尺寸。

    shxie 发表:什么样的样品才用到大景深呢?半导体的晶元片?Philips原来XL系列是以样品室的大小为型号标记的,但30代表的是最大工作距离是30cm呢,还是x×y为30×30cm呢?
    打搅renxin一下,大家继续回答问题,呵呵。

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  • 第8楼2005/08/24

    我们用的电镜的最低倍数可以到15X,但随着电压的增加,这个倍数也会增加,在此顺便请教各位这是为什么?个人对这些要求不是很大,倾斜方面,样品台可以向探头方向倾斜90度,向另一方向(相反方向)倾斜10度,这基本能满足我们的要求,因为样品台可以旋转。

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  • 第9楼2005/08/24

    低倍和大景深一般关联使用,很多电镜透镜分为高分辨模式和低倍模式,或者就叫大景深模式。
    低倍下观察的视野大,景深好,能很好的反映样品全貌,在生物、半导体、失效分析等应用很多。我还记得第一次看苍蝇时的兴奋劲。
    从性能考虑,低倍性能反映了物镜和扫描线圈性能。
    现在虽然大部分厂家都说能满足5~7倍,但那是在低加速电压和长工作距离下实现的,在能谱分析工作距离下,一般也就30倍。

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  • 第10楼2005/08/24

    其他不论,为什么会是在低电压下倍数才能变的更小,视野更广呢?

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  • 第11楼2005/08/25

    我觉得低倍下最主要的是找样品, 选择分析的区域比较方便.
    我见过Tescan的"鱼眼"功能,找样品还是很方便的

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  • 第12楼2005/08/25

    哦,鱼眼功能是通过数码摄像头实现的呢,还是直接通过电子束实现?

    sshlxf 发表:我觉得低倍下最主要的是找样品, 选择分析的区域比较方便.
    我见过Tescan的"鱼眼"功能,找样品还是很方便的

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