【讨论】请教EDS测量与样品的高度关系

EDS的interaction volumn 本来就比较大，所以即使不是focus，问题也不大

谢谢回复,明白了如果不是in forcus的话电子束与样品的interaction volumn 变大,分辨率会低.
因为EDS探头的位置是固定的,我想设计时会把正焦时的信号收集率最优化,问题是欠焦时将低信号强度,不同元素的信号比会不会变化.

这方面好像没有严格的要求。

我试了一下如果样品位置过高的话(约>120um)就测不到样品的信号,以前都没注意到这个问题

你怎样知道是大于120um ？

如果想做准确的定量分析，最好是正焦并且在能谱仪的最佳接受位置。

EDS分析本身就是半定量的，对于原子序数比较小的元素含量测量会存在较大的偏差。准确的定量分析，需要把WDS和EDS结合起来。

这个值不准确，应该说是个相对值，把刚放入样品的位置记为O，改变Z到120um.