【讨论】日本Seiko SPA 400的PFM测试问题

Acos像叫压电响应像，实际上就是振幅和相位像的合成，但是实际分析的时候还是单独的更好些。这个主要要看你的锁相放大器的输出了，一般是R/X输出即可。好像SPA测试PFM时需要外接锁相的吧，如SR830..应该是可以单独输出的。

PFM测试的是压电力回线，原理就是在一个三角阶梯波（直流电压窗口）上叠加交流信号。这个东西如果用集成好的设备是很容易测试出来的，如Asylum的压电力模块做的很强，如果自己做的话，恐怕需要二楼所说的频率合成器之类的。不过最简单的是用DDS直接输出波形，即通过数字方法产生测试波形。另外一个重要的问题是需要高压放大器，因为即使对于薄膜材料常规的10V也不一定能测出饱和的回线。。。

建议看一些橡树岭实验室S V Kalinin组的文章，AFM电学表征特别是压电力领域的大牛。。