【转贴】电子工业污染物排放标准 半导体器件（征求意见稿）

GB □□□□□—200□
I
目 次
前 言.............................................................................. II
1 适用范围............................................................................ 3
2 规范性引用文件...................................................................... 3
3 术语和定义.......................................................................... 4
4 污染物排放控制要求.................................................................. 5
5 污染物监测要求...................................................................... 9
6 标准实施与监督..................................................................... 11
附录A（规范性附录）VOCs 废气治理设备运行工艺参数测试要求............................. 12
附录B（规范性附录）半导体企业记录保存要求............................................ 13
附录C（规范性附录）废气中硫酸雾的测定................................................ 15
附录D（规范性附录）固体吸附-热脱附气相色谱-质谱法.................................... 22
附录E（规范性附录）用采样罐采样气相色谱－质谱法...................................... 31
附录F（规范性附录）大气中丙酮测定方法 气相色谱法.................................... 38

大家可根据附录的分析方法对照空气和废气监测分析方法第四版有何变化，讨论。