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【求助】ICP-OES在多晶硅中的应用

  • qiangxiang
    2009/12/12
  • 私聊

ICP光谱

  • ICP-OES在测定工业硅中金属杂质时的样品前处理、对工业硅中杂质含量的国际标准,能否详细点,最好将标准全部给出
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  • lilongfei14

    第1楼2009/12/12

    楼主是工业硅,还是多晶硅,这2个分析完全不一样。多晶硅的话需要ICP-MS分析的。工业硅的话ICP可以的

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  • guangpu09

    第2楼2009/12/12

    我是做多晶硅原料检测的,三氯氢硅中杂质的检测。现在在用 ICP-MS检测三氯氢硅中金属盒B杂质的含量,不过不是我负责那块。现在厂里决定买一台PE的ICP-OES来做,最近我一直都在查有关ICP-OES的资料,如果和楼猪的课题一样,希望有机会一起讨论,我 QQ506313762。
    ICP-MS的检出限低,灵敏度高,用来检测杂质含量大致在5PPB---1000PPB三氯氢硅,是不是太暴殄天物了!经常出现检不出的情况,这个是什么原因造成的?用的是标准曲线法,点数是 用0.1PPM或者0.01PPM的混标配的点,分别是0, 1, 2, 5, 10 ,20 。线性相关系数能达到0.98以上。而且实验室那几个还经常用 ICP-MS做别的含量检测。

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  • 红土泥人

    第3楼2009/12/12

    多晶硅的确不能用ICP光谱法分析的,必须要用ICP-MS,或用GD-MS

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  • 红土泥人

    第4楼2009/12/12

    ICP-OES检出限难以达到个位数的PPB的,尤其是B和P,用ICP-MS是非常合适的啊

    guangpu09(guangpu09) 发表:我是做多晶硅原料检测的,三氯氢硅中杂质的检测。现在在用 ICP-MS检测三氯氢硅中金属盒B杂质的含量,不过不是我负责那块。现在厂里决定买一台PE的ICP-OES来做,最近我一直都在查有关ICP-OES的资料,如果和楼猪的课题一样,希望有机会一起讨论,我 QQ506313762。
    ICP-MS的检出限低,灵敏度高,用来检测杂质含量大致在5PPB---1000PPB三氯氢硅,是不是太暴殄天物了!经常出现检不出的情况,这个是什么原因造成的?用的是标准曲线法,点数是 用0.1PPM或者0.01PPM的混标配的点,分别是0, 1, 2, 5, 10 ,20 。线性相关系数能达到0.98以上。而且实验室那几个还经常用 ICP-MS做别的含量检测。

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  • trifle

    第5楼2010/02/05

    大家想想,如果ICP-MS可以测试BP,那么低温红外是否可以被替代?
    hi.baidu.com/sitest

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  • zhanghai1977

    第6楼2010/02/08

    就这个问题,我建议你选低温红外,用ICP-MS基本上是检测酸或水中的杂质,低温红外检测性能很好,但前提是必须把多晶转变为单晶!

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  • zhanghai1977

    第7楼2010/02/08

    顶楼的那位。我这里有ICP-OES在测定工业硅中金属杂质时的样品前处理、对工业硅中杂质含量的所有国际标准
    你是在哪做的???

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  • zhanghai1977

    第8楼2010/02/08

    你现在所在单位是哪?

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  • zhanghai1977

    第9楼2010/02/08

    三楼那位,你用OES去做三氯氢硅?怎么做??做的出来吗?
    这个不用想。。。。。。是根本做不了 的,不信你买来做做看!

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  • sun5654514

    第10楼2010/02/26

    要看雾化器的类型

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