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【资料】电子级化学试剂的分类！

分析化学

  • 电子化学试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级。
    UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准.
    UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准
    EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺
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    +关注 私聊

  • ImFarmer

    第1楼2010/01/02

    感谢分享！第一次听说电子级化学试剂

0
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  • 太白金星

    第2楼2010/01/02

    能有更细些的资料吗？

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  • 平凡人

    第3楼2010/01/02

    电子级化学试剂一般应用于半导体行业，多数还不能国产，即使一引起国内销售的，也是国外采购，在国内分装再销售。

    太白金星(jingsheng) 发表:能有更细些的资料吗？

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