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【求助】请问一下扫描电镜的磁透镜可否用永磁体代替？

sunzhaod

2010/02/11

扫描电镜（SEM/EDS）

本人超级菜鸟！没用过电镜，只是对扫描电镜的原理感兴趣，最近有个想法，扫描电镜中的磁透镜采用钕铁硼永磁体，钕铁硼的剩磁可达几T，如果再做一个合适的极靴，或采用极靴的原理做一个磁场集中器，那磁感应强度估计高出很多，这样不仅比电磁透镜的效率高，还几乎不耗能量，唯一缺憾是失去了可调性，但是可以通过调整电子束加速电压或调解磁透镜位置来调解焦距，虽然可调性降低但是可以做成微可调的，分辨率固定的（保持在最大分辨率）。

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fengyonghe

第1楼2010/02/11

扫描电镜使用的是轴旋转对称非均匀磁场电磁透镜。永磁体是不行的。

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lysldl

第2楼2010/02/11

不能代替的

0

蓝莓口香糖

第3楼2010/02/12

从原理上来说并不是绝对不可能。EELS中使用的能量过滤器就是使用扇形磁铁聚焦，电磁线圈辅助调节。但是要达到目前SEM电磁线圈的性能，对磁铁的加工精度要求太高，工艺上无法实现。

0

maxin2009

第4楼2010/02/20

谢谢，受教了

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Frinight

第5楼2010/03/03

加速电压，束流设定等固定的话，聚光镜的永久磁铁采用是完全可以。
sunzhaod(sunzhaod) 发表:本人超级菜鸟！没用过电镜，只是对扫描电镜的原理感兴趣，最近有个想法，扫描电镜中的磁透镜采用钕铁硼永磁体，钕铁硼的剩磁可达几T，如果再做一个合适的极靴，或采用极靴的原理做一个磁场集中器，那磁感应强度估计高出很多，这样不仅比电磁透镜的效率高，还几乎不耗能量，唯一缺憾是失去了可调性，但是可以通过调整电子束加速电压或调解磁透镜位置来调解焦距，虽然可调性降低但是可以做成微可调的，分辨率固定的（保持在最大分辨率）。

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