请教：场发射扫描电镜可以做显微偏析吗？

若s、p不是以某种形态，如粒子、化合物什么的存在，而是在固溶体中，则无法用SEM辨别形貌。 通常现扫或面扫可以确定偏析情况，但SEM附带的eds也无能为力，毕竟元素含量太少了。

对否？

是的，S、P是以固溶体的形式存在钢基体中，但是我并不是想看S、P的形貌，而是钢的枝晶干和二次枝晶臂处P、S含量的差异（也就是枝晶偏析），因为二次枝晶间距只有几个微米，S、P含量又很低，只有几十个ppm，所以很难，不知到采用什么方法好。

一般SEM 佩戴的EDS分辨极限在700ppm，而WDS在100ppm左右，你的元素用能谱或波谱似乎都不行了。

问问版主，用TEM+EELS是否可行？

用TEM制作样品可能有一定难度，要保证在样品上顺利找到枝晶臂，干。

TEM倒是能看得出，不过有谁能有办法把样品的位置做得那么精确呢，运气不是一般的好。难

由于出差，好几天没来这里逛了，呵呵。。。谢谢大家对我的疑问的精心回答。我的S的含量只有80ppm，P有280ppm，能精确到几个ppm的检测仪器，真的没有啊？？？那老板还死活让我做，

难度是比较大啊.

能问一下你原来用EPMA时S,P几十个PPM的可以测到吗?

当时做EPMA的时候，他的成像系统比较不好，在屏幕上很难区分枝晶干与枝晶臂，另外几十个ppm的含量，可以打出来，但是不准确，所以没办法，因为做偏析，如果打的不准（分辨率应该在几个ppm，偶认为），就没有任何意义了，嘿嘿。。。