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【讨论】如何解读如下的谱图中的Ni峰的变化,即低能端与高能端Ni峰的强度对比~

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 样品倾斜角度为15度,已经在EDX中输入了补偿,最上面为FIB的保护层,中间为缺陷,下层为NI和P。在下,中,上,分别打了三张谱图,但Ni峰在低能端和高能端的变化却不好解释,尤其是在点3中。。。望大家热切讨论,谢谢:)
    缺陷照片及EDX位置


    点1的EDX谱图


    点2的EDX谱图:


    点3的EDX谱图:
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  • fly-fall

    第1楼2010/04/02

    呵呵,如果答案满意,在理论上和实际上都解释得通的话,可以帮给出最佳答案的兄弟做一个样品~

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  • fengyonghe

    第2楼2010/04/02

    Ni的L系与k系的相对强度问题,由于加速电压不变,二者的相对强度与两个因素有关。
    1 下面的平面从图上看似乎有另一方向的倾斜,这会影响二者的相对强度。
    2 这是主要原因。 从这三张图比较看,3点w的M系和Ga的L系是三张图中最强的,这两个线系的X-光子都会激发出Ni的L系光子,使谱图上的NiL线系增强。2点的这种作用小于3点,属于居中的情况。
    以上说的是 Ni的L系与k系的相对强度问题,不是绝对强度。

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  • fly-fall

    第3楼2010/04/03

    楼上说的1我赞同,我很怀疑第一点是由于样品倾斜,而且位于样品的比较下方的位置,造成低能端的特征X射线光子被吸引了一部分。此样品其实是FIB加工出来的一个坑,断面为感兴趣的地方所在。

    楼主说的2有不解之处,楼主说“1点w的M系和Ga的L系是三张图中最强的”,并没有在1点位置观察到较强的W和Ga峰,相反,在点3位置有很强的W峰存在。

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:Ni的L系与k系的相对强度问题,由于加速电压不变,二者的相对强度与两个因素有关。
    1 下面的平面从图上看似乎有另一方向的倾斜,这会影响二者的相对强度。
    2 这是主要原因。 从这三张图比较看,1点w的M系和Ga的L系是三张图中最强的,这两个线系的X-光子都会激发出Ni的L系光子,使谱图上的NiL线系增强。3点的这种作用小于1点,属于居中的情况。
    以上说的是 Ni的L系与k系的相对强度问题,不是绝对强度。

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  • fengyonghe

    第4楼2010/04/03

    你说的很对,是我把编号搞错了,我现在就更正过来。谢谢你的提醒。

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  • fly-fall

    第5楼2010/04/03

    你指的是3点中的W和Ga增加了Ni在低能端的峰?那我是不是可以这样理解,如果FIB时不镀W而是镀Pt,那情况应该就不同了吧?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:Ni的L系与k系的相对强度问题,由于加速电压不变,二者的相对强度与两个因素有关。
    1 下面的平面从图上看似乎有另一方向的倾斜,这会影响二者的相对强度。
    2 这是主要原因。 从这三张图比较看,3点w的M系和Ga的L系是三张图中最强的,这两个线系的X-光子都会激发出Ni的L系光子,使谱图上的NiL线系增强。2点的这种作用小于3点,属于居中的情况。
    以上说的是 Ni的L系与k系的相对强度问题,不是绝对强度。

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  • 春天的桃子

    第6楼2010/04/03

    我个人也是这样认为的,样品倾斜后,激发的位置不一定就在此处

    fly-fall(fly-fall) 发表:楼上说的1我赞同,我很怀疑第一点是由于样品倾斜,而且位于样品的比较下方的位置,造成低能端的特征X射线光子被吸引了一部分。此样品其实是FIB加工出来的一个坑,断面为感兴趣的地方所在。

    楼主说的2有不解之处,楼主说“1点w的M系和Ga的L系是三张图中最强的”,并没有在1点位置观察到较强的W和Ga峰,相反,在点3位置有很强的W峰存在。

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  • fengyonghe

    第7楼2010/04/04

    PtMa=2.05,与Ni的吸收边距离稍远一些,对NiL的激发要比WMa稍弱一些。但如果Pt的含量高了对NiL的激发也会增高。

    fly-fall(fly-fall) 发表:你指的是3点中的W和Ga增加了Ni在低能端的峰?那我是不是可以这样理解,如果FIB时不镀W而是镀Pt,那情况应该就不同了吧?

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  • fengyonghe

    第8楼2010/04/04

    就这个问题我还想说明,Ni的K系与L系的相对高度还与加速电压有密切关系,若是低于20千伏,则图3的谱峰分布主要是受加速电压的影响。而图1则是由于低能X光子被吸收了一部分。不知你用的加速电压是多少。

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  • fly-fall

    第9楼2010/04/04

    15KV

    fengyonghe(FENGYONGHE) 发表:就这个问题我还想说明,Ni的K系与L系的相对高度还与加速电压有密切关系,若是低于20千伏,则图3的谱峰分布主要是受加速电压的影响。而图1则是由于低能X光子被吸收了一部分。不知你用的加速电压是多少。

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  • fly-fall

    第10楼2010/04/04

    请问Ni的K系与L系的相对高度与加速电压有何关系呢?我用的是15KV,但应该也足以激发出8Kev左右的峰了。

    fengyonghe(FENGYONGHE) 发表:就这个问题我还想说明,Ni的K系与L系的相对高度还与加速电压有密切关系,若是低于20千伏,则图3的谱峰分布主要是受加速电压的影响。而图1则是由于低能X光子被吸收了一部分。不知你用的加速电压是多少。

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