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【求助】EDS框选的采集速率远小于点选

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 做了个实验,在用analyser分析Al 座样品台(即在SEM屏幕上用spot和reduced扫描样品),能谱的AR,DT正常;用point id采图到能谱后,用能谱软件上spot 分析时AR,DT也正常,而在用框选时AR降为点选时的一半不到,DT正常,不知是何原因?
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  • fengyonghe

    第1楼2010/04/13

    Reduced 和AR是什么意思?这种问题一定要把谱图发上来。

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  • huangtao0307

    第2楼2010/04/14

    各家設備可能不一樣﹐你最好說下你的設備型號是什么﹖
    然后把具體的問題點拉上來看看

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  • saj

    第3楼2010/04/14

    Reduced: 是指选择样品图像上某一区域进行扫描和采集, 而非全屏扫描和采集.
    AR: Acquisition Rate, 能谱的采集速率.
    会不会与电子枪不对中有关系?因为发现SE图像是左上角亮,右下角暗,再调了X,Y aperture及Gun tilt和shift后都无法消除明暗差异。

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  • 永远的菜鸟

    第4楼2010/04/14

    只能说关注了,我也是遇到了相同问题

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  • fengyonghe

    第5楼2010/04/14

    1 不知你的样品是否有残余磁性,如果是,会造成“明暗差异”。可以换其他样品一试,若“明暗差异”消失,说明是样品的问题。

    2 还是要把谱图发上来,如若你不能直接发上来(声望小于50)可以先发到1367309211@qq.com 我觉得有用,我替你发到网上。

    3 Reduced收谱称作“选区扫描”,在这个谱图中是否出现了你不需要的谱峰,同时它又是最高的,如果是,那有用的谱峰就会降低。

    saj(SAJ) 发表:Reduced: 是指选择样品图像上某一区域进行扫描和采集, 而非全屏扫描和采集.
    AR: Acquisition Rate, 能谱的采集速率.
    会不会与电子枪不对中有关系?因为发现SE图像是左上角亮,右下角暗,再调了X,Y aperture及Gun tilt和shift后都无法消除明暗差异。

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  • saj

    第6楼2010/04/15

    问题解决了.

    原来是能谱的Mics和X-stream之间的连接不好.

    将两者之间的连接线CAS bus换接到其他相同的接口,选区扫描的AR明显回到正常速率了。

    之前:


    之后:


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  • fengyonghe

    第7楼2010/04/15

    恭喜你已经解决了问题,看到你发上来的谱图有另外一个问题,零位峰太高。这表示鉴别器需要校准。鉴别器校准后零位峰的计数率应该在350400之间。它与元素谱峰之间的关系大致如下图所示。

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  • saj

    第8楼2010/04/19

    您说的鉴别器需要校准,是不是就意味着探头结霜了,需要做下除霜(conditioner)? 然后再校准鉴别器?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:恭喜你已经解决了问题,看到你发上来的谱图有另外一个问题,零位峰太高。这表示鉴别器需要校准。鉴别器校准后零位峰的计数率应该在350400之间。它与元素谱峰之间的关系大致如下图所示。

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  • fengyonghe

    第9楼2010/04/19

    这个不是探头结霜的判定标准,零位峰过高是需要运行“仅鉴别器校准”的判定标准。

    按下面的操作选择“Discrimination only”

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  • syning90

    第10楼2010/04/20

    大家都好厉害,学习了

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