【求助】大的颗粒状的东西怎么做EDX好？

什么材料？怎样处理的？

多层膜，没有处理，表面粗糙度很小，颗粒是外来的

我不知道你的困难在那里，有了那个外来物的能谱，用无标样定量分析还有困难吗？除非是你觉得那颗外来物的是被击穿了所以有了很多基体元素成分，如果是的话，就得降低高压测试。

[quote]原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:那颗外来物的是被击穿了所以有了很多基体元素成分

很同意你的观点，我也觉得外来物体积不是太大且比较薄，组成物是没有特征X射线产额高的物质，估计为有机物加钙化物质没有一定的聚集是激发不出来物质信息的。即便降低电压可能也不行。我昨天做了一个二氧化硅外包裹钙、钒和铀（含量极少）的组合物当选择堆积不多的位置做能谱时只有硅线和氧线出来，后来选择堆积比较厚的位置，钙、钒出来了铀含量太少没有出来。所以说纳米材料做能谱最好做既有分散也有堆积的。

厉害,我刚用,还的多请教

我想知道外来物的成分...根据谱图没法直接判断...无标样定量分析是比较可行，但步骤还是比较复杂，而且对于含量低的元素也还是没法确定是背景的还是本身就有的。EDX真正的作用区域是数个微米，激发出的谱图肯定含有很多的背景信息...外来物有可能是在镀膜过程中产生的，也就是说可能含有背景的成分，所以进一步复杂了

如下为定量分析的结果，除了C和O以外，您能据此判定还有些别的元素在吗？

忘了贴图了

电压用的是不是太高了，降低电压试试看成份有什么变化。
可否用背散射像试试？如果颗粒和基体的成份有差异，BSE应该更好判断，可以根据BSE的反差帮助你判断。