建议：大家多讨论一下STEM的相关理论和应用，还有EELS

FIB属于特殊样品制备里的，你说的三者价格都很贵，版面上我只见到一位有STEM的，EELS更不用说了。欢迎您讲讲这方面的知识和经验！

FIB在学校中好像只有北大有吧，没条件，羡慕那些有好仪器的单位。

嗯，复旦材料系有的，不过型号老了点。

顺便来张STEM的图片吧：
http://cmm.mrl.uiuc.edu/Gallery/STEM/STEMGallery.htm

现在国内能玩TEM的人都喜欢搞原子分辨的Z衬度像，配合EELS作元素微区分布分析。像硬盘磁头100nm的sensor有10几层，最薄的如隧道层（TMR)才0.7nm，每层元素有差异，非这种技术不可。
FIB是目前纳米科技表征的要求。主要日本精工与FEI两家公司销售。金属研究所有一台很好的FIB设备，去年安装调试的，FEI公司的，D-beam的，为FEI 30 服务。听说清华大学范守善老师研究组有一台，型号可能老点.长三角一些高科企业，如中芯国际，有好几台FIB, 东莞新科磁电制品厂有4台非常好的FIB.其中有一台专做TEM样品，为JEOL 2100 FEG &Gatan 794服务！
一直以来，国内这方面的实力，以科学院物理所，金属所，以及清华大学为最。北京大学好像在大力发展TEM表征的实力，买设备，挖人，从物理所请彭立矛，从金属所请叶先生。但是据说，两台很好的设备TEM/FIB都在电子系俞大鹏组。

FIB操作技术，国内的工程师经验欠缺，水平不足。有志之士，要努力啊！如果大家有兴趣，我会发些这方面的体会与资料的！

我认为国内EELS方面，清华大学的袁俊应该最权威了。

看来gamexxp大侠对这个行当如数家珍啊，不过这种Z衬度像我们也只是欣赏一下，你也说了国内的仪器相对很少的，哪有机会让我们摸索啊？
请问您是做哪方面的？有空多来讲讲经吧。

请问FIB是什么仪器？

FIB 全称Focus Ion Beam 聚焦离子束显微镜，主要用作为精细加工，在微电子（半导体，存储）行业用得较多，可以在线检查晶元线路，并且修复；用来制备TEM样品，一个优势就是你可以把微米甚至纳米级的微区做成薄区进行TEM观察；随着经济，科学技术（特别是纳米科技）的发展，中国迫切需要这方面的工程师。所附附件为本人曾经用过的一台设备。大家可以看看一些性能指标。

另外，上海宝钢新装了一台JEOL 2100 FEG 配Gatan 794(为什么不配894?本人还是觉得894好)，应该可以用啦，可以作Z衬度像，也可以做EELS.

嗯，这次宝钢装的很全，还从日本引进刘博士，还有其他几位很棒的专家，可惜没机会去学学。
袁俊老师的课件看过，还有他本人在开会的时候经常见到，很踏实的感觉。