【求助】突然掉高压

高压掉了之后，你看看左下面板的报警，是不是water报警！～

另问一句：怎么看水突然停一阵子？
我这里从来没有这样的情况，只是如果天热，可能会因为散热的关系出现水报警

应该是LENS回路过热保护所致，LENS回路有两路冷却水，一是给LENS COIL的，另一路是给LENS GATE的，任何一路过热都会导致透镜电源自动断掉，而LENS电源断掉的话HT也就跳掉了，BEAM CURRENT连000都不显示了。而这时马上开LENS PS也加不上，而要等自然冷却后通常20~30分钟左右才能再开LENS PS，从而也可以再加高压了。而在LENS PS加不上的这段时间，水箱回水会少3路，我想你所指的水会自动停是指指这个吧？但最少还要有一路DP的回水往水箱里流。
针对你的情况：1，检查一下水温是否正常。如果水温过高，确认环境温度OK与否、清洗散热器、检查氟利昂压力。
2，你可以将水箱盖子打开，在LENS PS 可加的时候看有那路没有回水吗，如没有顺着管子分段判断看是堵在那里了。如果都有回水那可以用手感觉一下温度，看那路水温较高，或水流量较小，通过调节分水阀上的相应调压阀来增加它的水流量。
祝好运！

老大，你要能来俺这里做维修工程师该多好！

问个很菜鸟的问题，这个LENS PS是什么意思？

好详细，经验丰富啊，抄下来了。。

我们的设备也是这个问题，有时出现，没有找到故障的根源，工程师说在观察观察，可能是真空部分漏气造成的，说是样品杆的o圈脏了，需要清洁。大家讨论下，到底是什么问题。